बेकिंग - फैक्टर जो वैक्यूम सिस्टम को प्रभावित करता है

बेकिंग के लिए, अति उच्च वैक्यूम रेंज (<> ^-8 एचपीए) में दबाव प्राप्त करने के लिए , निम्नलिखित शर्तों को पूरा किया जाना चाहिए:

1. वैक्यूम पंप का अंतिम वैक्यूम आवश्यक अंतिम दबाव 10 गुना से कम होना चाहिए।

2. वैक्यूम कक्षों और घटकों के लिए उपयोग की जाने वाली सामग्रियों को न्यूनतम आउटगैसिंग के लिए अनुकूलित किया जाना चाहिए, और इसमें सतह के उपचार का उचित स्तर होना चाहिए।

3. धातु मुहरों (उदाहरण के लिए, सीएफ निकला हुआ किनारा कनेक्शन या आईएसओ निकला हुआ किनारा मानक हेलिकॉफ्लेक्स मुहरों) का उपयोग किया जाना चाहिए।

4. अति उच्च वैक्यूम के लिए सफाई आवश्यक है। इंस्टॉलेशन से पहले सभी हिस्सों को पूरी तरह से साफ किया जाना चाहिए और भागों को स्थापित करते समय ऑपरेटर को ग्रीस मुक्त दस्ताने पहनना चाहिए।

5. उपकरण और उच्च वैक्यूम पंप बेक्ड होना चाहिए।

6. हीटर शुरू करने से पहले लीक से बचा जाना चाहिए और हटा दिया जाना चाहिए। इस उद्देश्य के लिए, एक हीलियम रिसाव डिटेक्टर या चतुर्भुज द्रव्यमान स्पेक्ट्रोमीटर का उपयोग किया जाना चाहिए।

7. बेकिंग में विलुप्त होने की दर और विसारकता में काफी वृद्धि होती है, और इससे चूषण समय की भारी कमी होती है। विनिर्माण प्रक्रिया के अंतिम चरण के रूप में, यूएचवी कक्षों को 900 डिग्री सेल्सियस तक तापमान पर गिरा दिया जा सकता है। बाद में बेकिंग तापमान 300 डिग्री सेल्सियस तक पहुंच सकता है। उच्च वैक्यूम पंप निकला हुआ किनारा के उच्चतम सेंकने के तापमान के लिए पंप निर्माता के निर्देश आम तौर पर अधिकतम तापमान 120 डिग्री सेल्सियस तक सीमित करते हैं। यदि एक वैक्यूम डिवाइस में एक ताप स्रोत (उदाहरण के लिए, चमकदार हीटिंग) का उपयोग किया जाता है, तो अनुमत विकिरण शक्ति देखी जानी चाहिए।

8. उपकरण स्थापना के बाद ऑपरेशन में डाल दिया जाता है। 10 ^-5 एचपीए के दबाव तक पहुंचने के बाद, हीटर चालू करें। हीटिंग प्रक्रिया के दौरान, वैक्यूम गेज संचालित किया गया था और प्रति 10 घंटे degassed। यदि एक उपयुक्त सतह उपचार ग्रेड के साथ एक स्टेनलेस स्टील कंटेनर और धातु मुहर का उपयोग किया जाता है, तो 120 डिग्री सेल्सियस का बेकिंग तापमान और लगभग 48 घंटे का हीटिंग समय 10 ^-10 एचपीए की दबाव सीमा तक पहुंचने के लिए पर्याप्त होता है।

9. बेकिंग तब तक जारी रहनी चाहिए जब तक यह अनुमानित अंतिम दबाव 100 गुना तक पहुंच न जाए। फिर पंप और वैक्यूम कक्ष हीटर बंद करें। शीतलन के बाद, वांछित परम दबाव हासिल होने की संभावना है। 5x10 ^-10 एचपीए के नीचे दबाव में, एक बड़े आंतरिक सतह क्षेत्र गैस से जुड़े पंप (टाइटेनियम सब्लिमिशन पंप) का उपयोग करने के लिए फायदेमंद होगा जो उच्च वोल्मेट्रिक प्रवाह दर पर धातु से निकलने वाले हाइड्रोजन को पंप करता है।