अल्ट्रा-हाई वैक्यूम यूनिट की विशेषताएं और वर्गीकरण

अल्ट्रा-हाई वैक्यूम यूनिट की विशेषताएं और वर्गीकरण

10-5Pa से ऊपर काम करने वाली अल्ट्रा-हाई वैक्यूम इकाइयों में प्रसार पंप, आणविक पंप अल्ट्रा-हाई वैक्यूम यूनिट और तेल मुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम यूनिट शामिल हैं। यूनिट में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
(1) मुख्य पंप की अंतिम वैक्यूम डिग्री उच्च है, 10-7 ~ 10-8Pa से ऊपर;
(2) 200 ~ 450 डिग्री सेल्सियस के उच्च तापमान पाक का सामना कर सकते हैं;
(3) मुख्य पंप में बैकफ्लो गैस का आंशिक दबाव बहुत कम है;
(4) गैस चयनात्मक मजबूत मुख्य पंप पंप किया जाना है, एक बड़े पर्याप्त सहायक पंप से सुसज्जित किया जाना है;
वैक्यूम चैंबर, पाइप, वाल्व और अन्य घटकों की सामग्री आउटलेट दर बहुत कम है, और हवा रिसाव दर बहुत छोटी है।

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