सीवीडी का वर्गीकरण

सीवीडी का वर्गीकरण

सीवीडी प्रतिक्रियाशील सामग्री स्रोत की सामान्य चरण स्थिति में अंतर के अनुसार, इसे आगे परिभाषित किया जा सकता है

1. गैसीय पदार्थ स्रोत: वे पदार्थ जो कमरे के तापमान पर गैसीय होते हैं (H2, N2, CH4, Ar, आदि)। जब गैसीय सामग्री स्रोत का उपयोग किया जाता है, तो कोटिंग डिवाइस प्रणाली बहुत सरल हो जाती है क्योंकि तापमान के बजाय केवल प्रतिक्रिया गैस की प्रवाह दर को प्रवाह मीटर द्वारा नियंत्रित करने की आवश्यकता होती है।

2. तरल पदार्थ स्रोत: प्रतिक्रियाशील पदार्थ जो कमरे के तापमान पर तरल होते हैं, जैसे TiCl4, CH3CN, SiCl4 और BCl3। जमाव कक्ष में प्रवेश करने वाले तरल सामग्री स्रोत की मात्रा को तरल सामग्री प्रवाह का उपयोग करते समय वाहक गैस और हीटिंग तापमान को नियंत्रित करके नियंत्रित किया जाता है।

3. ठोस पदार्थ स्रोत: वे पदार्थ जो कमरे के तापमान पर ठोस होते हैं, जैसे AlCl, NbCl5, TaCl5, ZrCl5 और HfCl4। क्योंकि इस प्रकार की सामग्री को उच्च तापमान पर आवश्यक मात्रा में भाप को उर्ध्वपातित करने की आवश्यकता होती है, इस प्रकार की प्रक्रिया का उपयोग करते समय हीटिंग तापमान और वहन क्षमता को सख्ती से नियंत्रित करने की आवश्यकता होती है।

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