आयन बीम प्रसंस्करण का वर्गीकरण

आयन बीम प्रसंस्करण का वर्गीकरण

आयन बीम प्रसंस्करण भौतिक आधार है जब आयन बीम सामग्री की सतह से टकराता है तो प्रभाव प्रभाव, स्पटरिंग प्रभाव और इंजेक्शन प्रभाव होता है। आमतौर पर चार श्रेणियां होती हैं:

मैं नक़्क़ाशी पर

जब आर्गन आयन 0.1 ~ 5keV की ऊर्जा के साथ और नैनोमीटर के कुछ दसवें हिस्से के व्यास का उपयोग वर्कपीस की सतह पर बमबारी करने के लिए किया जाता है, तो इस उच्च-ऊर्जा आयन द्वारा हस्तांतरित ऊर्जा, वर्कपीस पर परमाणुओं (या अणुओं) के बंधन बल से अधिक हो जाती है सतह, भौतिक सतह पर परमाणुओं (या अणुओं) को प्रसंस्करण उद्देश्य को प्राप्त करने के लिए एक-एक करके बाहर निकाला जाता है। यह मशीनिंग अनिवार्य रूप से एक परमाणु पैमाने पर काटने की प्रक्रिया है, जिसे अक्सर आयन मिलिंग के रूप में जाना जाता है।

आयन नक़्क़ाशी का उपयोग एयर बियरिंग, पंच होल, अत्यधिक पतली सामग्री और अल्ट्रा-उच्च परिशुद्धता एस्फेरिक लेंस के खांचे को संसाधित करने के लिए किया जा सकता है, और एकीकृत सर्किट के उच्च-सटीक ग्राफिक्स को खोदने के लिए भी इस्तेमाल किया जा सकता है।

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