कॉम्बिनेटोरियल स्पटर डिपाजिशन सिस्टम
Sep 12, 2018| सिस्टम में 1.5 इंच या 2-इंच व्यास लक्ष्य के साथ मैग्नेट्रॉन स्पटर स्रोत और आरएफ और डीसी क्षमता के साथ प्रति सिस्टम तक चार स्रोत शामिल हो सकते हैं। विभिन्न गैसों, बिजली आपूर्ति पैकेज, सिंगल या मल्टी-वेफर लोड लॉक इत्यादि के लिए एमएफसी जैसे विकल्पों की एक विस्तृत विविधता प्रदान की जा सकती है। जमाव दरों की विस्तृत श्रृंखला और संकल्प प्रदान करने के लिए मैग्नेट्रॉन को ज़ेड-चरणों पर रखा जा सकता है।
टेस्ट पैड आकार उपयोगकर्ता आवश्यकताओं के अनुरूप लगभग 4 मिमी वर्ग से 25 मिमी वर्ग तक हो सकते हैं। हमारे उपयोग में आसान सॉफ्टवेयर के साथ क्षेत्र में टेस्ट पैड आकार और चरण-और-दोहराना दूरी को बदलना बहुत आसान है।
क्षमताओं और अवयवों
संयोजक स्पटर सिस्टम उपयोगकर्ता को नई सामग्रियों के विकास के लिए क्षमताओं की विस्तृत श्रृंखला प्रदान करेगा। इस तरह के उपकरण ग्राहक को विशिष्ट अनुप्रयोगों के लिए आवश्यक उचित संरचना निर्धारित करने में मदद करेंगे, एक समय में महत्वपूर्ण समय और सैकड़ों अद्वितीय रचनाओं को परीक्षण करने में महत्वपूर्ण समय बचाएंगे।
सिस्टम लगातार वितरण नियंत्रण, विभिन्न पंपिंग पैकेज, पूर्ण विशेषीकृत सॉफ़्टवेयर इत्यादि के लिए बंद-लूप प्रतिक्रिया के साथ बिजली वितरण बक्से, बिजली की आपूर्ति, एमएफसी, वेफर फ्लो इंटरलॉक स्विच, और वायवीय वाल्व जैसे सभी आवश्यक घटकों के साथ पूरा हो जाते हैं। प्रत्येक मशीन ग्राहक की विशिष्ट आवश्यकताओं के लिए व्यक्तिगत रूप से तैयार किया जा सकता है।



