संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम

संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम

विशेष आवश्यकताओं वाले कुछ वैक्यूम सिस्टम के लिए, जैसे कि बिना तेल के अल्ट्रा-हाई वैक्यूम या अल्ट्रा-हाई वैक्यूम की आवश्यकता होती है, और साथ ही किसी न किसी पंपिंग की जरूरतों को पूरा करते हैं और प्रक्रिया के दौरान जारी की गई बड़ी मात्रा में गैस का सामना कर सकते हैं, संयुक्त प्रणाली का उपयोग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए किया जा सकता है। अंजीर। 1 तेल मुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम कोटिंग मशीन के वैक्यूम सिस्टम का योजनाबद्ध आरेख दिखाता है। मुख्य पंप स्पटरिंग आयन पंप है, जो वैक्यूम डिग्री में सुधार करने और वाष्पीकरण सामग्री द्वारा उत्पादित बड़ी मात्रा में गैस का निर्वहन करने के लिए टाइटेनियम उच्च बनाने की क्रिया पंप से लैस है। परम निर्वात 6.67×10-7Pa तक पहुंच सकता है। मुख्य पंप के रूप में आणविक चलनी पंप के साथ प्री-पंप पंप। इसके अलावा, सिस्टम एक सोखना जाल से भी सुसज्जित है - मैकेनिकल पंप क्रूड पंपिंग सिस्टम, जब दबाव 1333Pa से अधिक होता है, यांत्रिक पंप तेल वापस करना आसान नहीं होता है, यांत्रिक पंप सीधे वैक्यूम कक्ष को खाली कर देता है, जब दबाव का वैक्यूम चैम्बर 1333Pa से कम है, बायपास वैक्यूम चैम्बर से सोखना जाल 9 के माध्यम से यांत्रिक पंप।

1. वैक्यूम चैम्बर 2. अल्ट्रा-हाई वैक्यूम गेट वाल्व 3. स्पटरिंग आयन पंप 4. टाइटेनियम उच्च बनाने की क्रिया पंप 5. अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वाल्व 6. रिलीज वाल्व 7. उच्च वैक्यूम वाल्व 8. आणविक चलनी पंप 9. सोखना जाल 10. यांत्रिक पंप
अंजीर। 1 तेल मुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम कोटिंग मशीन के वैक्यूम सिस्टम का योजनाबद्ध आरेख

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