संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम, स्पटरिंग आयन पंप - टाइटेनियम सब्लिमेशन पंप सेट

संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम, स्पटरिंग आयन पंप - टाइटेनियम सब्लिमेशन पंप सेट

चित्र 5-17 संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम: 1- वैक्यूम चैम्बर 2- अल्ट्रा-हाई वैक्यूम गेट वाल्व 3- स्पटरिंग आयन पंप - टाइटेनियम सब्लिमेशन पंप समूह 4- अल्ट्रा -हाई वैक्यूम गेट वाल्व 5- कोल्ड ट्रैप 6- डिफ्यूजन पंप 7- फ्रंट पाइपलाइन वाल्व 8- अल्ट्रा-हाई वैक्यूम पाइपलाइन वाल्व 9- ब्लीड वाल्व 10- यांत्रिक वैक्यूम पंप

चित्र 5-17 एक अन्य प्रकार की संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम प्रणाली दिखाता है। यह प्रणाली वैक्यूम सीलिंग भट्टियों, टैंटलम शीट भट्टियों और अन्य उपकरणों के लिए उपयुक्त है। सिस्टम का मुख्य पंप स्पटरिंग आयन पंप-टाइटेनियम सब्लिमेशन पंप समूह है। निर्वात कक्ष की सीमा निर्वात 5×10-7Pa तक पहुंच सकती है। प्रणाली एक तेल प्रसार पंप और एक यांत्रिक पंप से बनी इकाई से सुसज्जित है, जिसका उपयोग मुख्य पंप के रूप में मोटे पंपिंग और प्री-पंपिंग के लिए किया जाता है, और प्रक्रिया के दौरान जारी बड़े को पंप कर सकता है।

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