डीसी पूर्वाग्रह और पल्स पूर्वाग्रह की तुलना

पारंपरिक आर्क आयन चढ़ाना डीसी नकारात्मक पूर्वाग्रह को संदर्भित करता है आयन बमबारी ऊर्जा को नियंत्रित करने के लिए सब्सट्रेट पर लागू होता है। बयान प्रक्रिया में निम्नलिखित नुकसान हैं:

● सब्सट्रेट का उच्च तापमान वृद्धि कम तापमान तड़के सब्सट्रेट पर हार्ड फिल्मों के बयान के लिए अनुकूल नहीं है।

● उच्च-ऊर्जा आयन बमबारी के कारण गंभीर स्पटरिंग का कारण था, और कठोर पतली फिल्म केवल उच्च प्रतिक्रिया थ्रेशोल्ड ऊर्जा के आयन बमबारी ऊर्जा संश्लेषण को बढ़ाकर नहीं हो सकती।

डीसी पूर्वाग्रह आर्क आयन चढ़ाना प्रक्रिया में, आयन पर लगातार सब्सट्रेट की सतह को बमबारी करने के लिए और सब्सट्रेट का तापमान बहुत अधिक होता है, मुख्य उपाय बयान शक्ति को कम करना, बयान समय कम करना, रुक-रुक बयान का उपयोग करना और बयान के तापमान को कम करने के अन्य उपाय, इन उपायों को "ऊर्जा नियंत्रण विधि" कहा जाता है यद्यपि यह विधि बयान के तापमान को कम कर सकती है, यह फिल्म की कुछ गुणों को भी कम करता है, जबकि उत्पादन क्षमता और फ़िल्म गुणवत्ता की स्थिरता को कम करती है। इसलिए, लोकप्रियता और एप्लिकेशन के लिए मुश्किल है

नाड़ी पूर्वाग्रह आर्क आयन चढ़ाना प्रक्रिया में, आयनों की वजह से सब्सट्रेट सतह पर नॉन-निरंतर नाड़ी के साथ बौछार, नाड़ी पूर्वाग्रह के कर्तव्य अनुपात को समायोजित करके, मैट्रिक्स के भीतर और सतह के बीच तापमान ढाल बदल सकता है, और तो सब्सट्रेट की आंतरिक और सतह के बीच तापमान के संतुलन मुआवजा प्रभाव को बदला जा सकता है, ताकि बयान के तापमान को विनियमित करने के उद्देश्य को प्राप्त किया जा सके। इस तरह, लागू पूर्वाग्रह की पल्स ऊंचाई और वर्कपीस का तापमान अलग-अलग हो सकता है (कोई प्रभाव नहीं या छोटा प्रभाव) समायोजित। हाई-वोल्टेज दालों का प्रयोग हाउपर आयनों के बमबारी प्रभाव को प्राप्त करने के लिए किया जाता है ताकि पतली फिल्म के माइक्रोस्ट्रक्चर और गुणों में सुधार हो सके, ड्यूटी अनुपात को कम करके आयन बमबारी के कुल हीटिंग प्रभाव को कम करने के लिए बयान तापमान को कम किया जा सके।