इलेक्ट्रॉन बीम प्रसंस्करण और आयन बीम प्रसंस्करण

इलेक्ट्रॉन बीम प्रसंस्करण और आयन बीम प्रसंस्करण नए प्रकार के विशेष प्रसंस्करण हैं। वे व्यापक रूप से माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक के क्षेत्र में, सूक्ष्म micromachining में उपयोग किया जाता है। सामान्यतया, इलेक्ट्रॉन बीम प्रसंस्करण को मुख्य रूप से गर्म प्रसंस्करण जैसे कि छिद्रण, वेल्डिंग और इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी के लिए उपयोग किया जाता है, जबकि आयन बीम प्रसंस्करण मुख्य रूप से आयन नक़्क़ाशी, आयन कोटिंग और आयन आरोपण के लिए उपयोग किया जाता है।

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