उच्च वैक्यूम पंप समूह

उच्च वैक्यूम पंप समूह
उच्च वैक्यूम पंप समूह आणविक प्रवाह स्थिति में काम करता है, और निम्न वैक्यूम इकाई की तुलना में, यह कम कामकाजी दबाव (10-2 ~ 10-6Pa), छोटी निकास मात्रा और बड़ी पंपिंग गति की विशेषता है। . यूनिट का मुख्य पंप आमतौर पर एक प्रसार पंप, प्रसार बूस्टर पंप, आणविक पंप, टाइटेनियम उर्ध्वपातन पंप, कम तापमान संक्षेपण पंप आदि होता है। ये पंप सीधे वायुमंडल में काम नहीं कर सकते हैं, इसलिए प्री-पंपिंग पंपों को कॉन्फ़िगर करना आवश्यक है और प्री-स्टेज पंप, और कुछ प्रसार पंप भी सिस्टम में दबाव के उतार-चढ़ाव को रोकने और यूनिट के पंपिंग प्रदर्शन में सुधार करने के लिए प्री-स्टेज रखरखाव पंप या गैस टैंक से लैस हैं।

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