उच्च निर्वात प्रणाली

उच्च निर्वात प्रणाली
उच्च वैक्यूम प्रणाली का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, और इसकी कार्यशील दबाव सीमा आम तौर पर 1.33×10-2 ~ 1.33×10-3Pa है। सामान्य पम्पिंग प्रणालियाँ हैं:
(1) प्रसार पंप श्रृंखला यांत्रिक पंप वैक्यूम प्रणाली। जैसा कि चित्र 5-2 में दिखाया गया है, यह प्रणाली 10-2 ~ 10-5Pa का वैक्यूम प्राप्त कर सकती है, जिसका उपयोग आम तौर पर ऑपरेशन के दौरान अपेक्षाकृत छोटे निकास गैस वाले अनुप्रयोग उपकरणों में किया जाता है। इस प्रणाली में सरल संरचना, विश्वसनीय संचालन और कम लागत के फायदे हैं। नुकसान यह है कि सिस्टम धीरे-धीरे शुरू होता है और प्री-ड्रॉइंग का समय लंबा होता है। प्रसार पंप के तेल वाष्प को निर्वात कक्ष में वापस प्रवाहित करना आसान है।
(2) प्रसार पंप श्रृंखला तेल बूस्टर पंप, और फिर श्रृंखला यांत्रिक पंप वैक्यूम प्रणाली। सिस्टम में ड्रॉ से पहले का समय कम है लेकिन शुरुआत धीमी है।
(3) प्रसार पंप श्रृंखला रूट पंप, और फिर श्रृंखला यांत्रिक पंप वैक्यूम प्रणाली। इसकी शुरुआत धीमी है, लेकिन प्री-पंपिंग का समय कम है।

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