मास फ्लो नियंत्रक का परिचय

मास प्रवाह नियंत्रक (एमएफसी) सटीक माप और गैस के द्रव्यमान प्रवाह दर पर नियंत्रण के लिए उपयोग किया जाता है। यह आम तौर पर प्रवाह संवेदक, प्रवाह नियंत्रण वाल्व, नियंत्रण सर्किट और अलग धकेलना नियंत्रण चैनल बढ़ाना है। इसका काम बिजली आपूर्ति और प्रवाह प्रदर्शन और इसके संचालन प्रवाह प्रदर्शन बिजली की आपूर्ति से संचालन संचालन

उपयोग और सुविधाएँ

एमएफसी वैज्ञानिक शोध और उत्पादन में कई क्षेत्रों जैसे अर्धचालक माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग, विशेष सामग्री विकास, रसायन उद्योग, पेट्रोलियम उद्योग, चिकित्सा, पर्यावरण संरक्षण और वैक्यूम में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।

विशिष्ट अनुप्रयोगों में शामिल हैं: इलेक्ट्रॉनिक प्रसंस्करण उपकरण जैसे प्रसार, ऑक्सीकरण, एपिटैक्सी, सीवीडी, प्लाज्मा नक़्क़ाशी, स्पुतरिंग, आयन आरोपण; और वैक्यूम कोटिंग उपकरण, गैस क्रोमैटोग्राफ और अन्य विश्लेषणात्मक उपकरणों।

उच्च सटीकता, अच्छा दोहराव, तेज प्रतिक्रिया की गति, नरम शुरुआत, स्थिर और विश्वसनीय काम कर रहे दबाव रेंज (जो उच्च दबाव या वैक्यूम की स्थिति के तहत काम कर सकते हैं) के साथ जन प्रवाह नियंत्रक और द्रव्यमान प्रवाहमापी, आपरेशन का उपयोग करना आसान है। एमएफसी को किसी भी स्थिति में स्थापित किया जा सकता है, और स्वचालित नियंत्रण को महसूस करने के लिए कंप्यूटर से जुड़ा हुआ है।

प्रवाहमापी आम तौर पर निम्नलिखित प्रकारों में विभाजित है:

1. बड़ा प्रवाह मीटर

यह एक एकल ज्ञात मात्रा भाग में द्रव को लगातार विभाजित करने के लिए यांत्रिक माप तत्व का उपयोग करता है। तरल पदार्थ का मात्रा प्रवाह मापने के कक्ष से लगातार उत्तीर्ण द्रव की मात्रा के समय की संख्या के अनुसार मापा जाता है और एक के बाद एक का निर्वहन करता है।

2. फ़्लोट फ्लोमिटर (रोटर फ्लोमीटर)

फ़्लोट फ्लोमिटर एक प्रकार का चर क्षेत्र प्रवाहमापी है, ऊपर से नीचे तक एक ऊर्ध्वाधर शंकु में, फ्लोट गुरुत्वाकर्षण के परिपत्र क्रॉस सेक्शन को तरल शक्ति द्वारा समर्थित किया जाता है, जिससे कि फ्लोट शंकु में मुक्त हो सकता है उठो और गिरावट

3. विभेदक दबाव प्रवाहमापी

यह पाइप में स्थापित प्रवाह डिटेक्टर द्वारा निर्मित विभेदक दबाव पर आधारित है, ज्ञात तरल पदार्थ की स्थिति और पाइप और पाइप के बीच के प्रवाह की गणना करने के लिए मीटर।

4. भंवर सड़क प्रवाहमापी (वीएसएफ)

गैर-स्ट्रीमलाइन भंवर जनरेटर को तरल पदार्थ में रखा गया है और नियमित रूप से इंटरलेस्ड भंवर यंत्रों की दो श्रृंखला को रिलीज करने के लिए द्रव को वैकल्पिक शरीर के दोनों ओर अलग से अलग किया जाता है।

5. टर्बाइन प्रवाहमापी

यह वेग प्रकार का वेग प्रवाह मीटर है यह द्रव की औसत वेग को समझने के लिए बहु ब्लेड रोटर (टरबाइन) का उपयोग करता है, और प्रवाह मात्रा या कुल मात्रा के साधन को घटाता है।

6. अल्ट्रासोनिक प्रवाहमापी

यह अल्ट्रासोनिक किरण (या अल्ट्रासोनिक पल्स) पर द्रव प्रवाह के प्रभाव को मापकर प्रवाह का माप है।

7. विद्युत चुम्बकीय प्रवाहमापी

फैराडे के विद्युत चुम्बकीय प्रेरण के कानून के अनुसार तरल के प्रवाहकत्त्व को मापने के लिए विद्युत चुम्बकीय प्रवाहमापी एक तरह का साधन है।

8. थर्मल मास प्रवाहमापी

तापीय प्रवाहमापी संवेदक में दो संवेदन तत्व, एक गति संवेदक और एक तापमान संवेदक होता है। वे स्वचालित रूप से गैस के तापमान में सुधार और परिष्कृत कर सकते हैं। उपकरण का इलेक्ट्रिक हीटिंग हिस्सा गतिशील संवेदक को काम करने की स्थिति के तापमान से अधिक एक निश्चित मूल्य के लिए गर्म करता है, जिससे कि काम के तापमान की स्थिति में गति संवेदक और सेंसर के बीच एक निरंतर तापमान अंतर होता है। जब तापमान में अंतर निरंतर रखा जाता है, तो बिजली के ताप से भस्म होने वाली ऊर्जा गैस के प्रवाह के द्रव्यमान प्रवाह के अनुपात में होती है, और एक गैस के माप और बहु-घटक गैस के निश्चित अनुपात के लिए उपयुक्त होती है।