वैक्यूम के बारे में परिचय

1. वैक्यूम के बुनियादी ज्ञान

"वैक्यूम" का अर्थ है किसी भी गैसीय राज्य की रिक्ति जिसके अंतर्गत वायुमंडलीय दबाव के नीचे दबाव होता है । गैस इस अंतरिक्ष में पतली है, वातावरण से कम से पतला, लेकिन निरपेक्ष "निर्वात," वह है, किसी भी गैसीय कणों के बिना अंतरिक्ष, नहीं पाया जा सकता, और १०००० किलोमीटर दूर पृथ्वी से, वहाँ रहे हैं 3 ~ 4 घन सेंटीमीटर प्रति घन सेंटीमीटर अणुओं की ।

वैक्यूम की डिग्री के रूप में गैस के दबाव के आकार की समस्या है और दबाव को मापने की इकाई वैक्यूम की डिग्री को मापने की इकाई है । अंतरराष्ट्रीय मानक इकाई है "फिलीस्तीनी अथॉरिटी", जो भी में मापा जा सकता है "Torr," "बार" और "mbar" । इनके बीच का संबंध निम्न सूत्र द्वारा दिया गया है:

1 मानक वायुमंडलीय दबाव = 1.01 x 105 Pa = 760 Torr = 1.01 x 103 mbar

2. आप एक निर्वात में कोट करने के लिए क्यों की जरूरत है?

आदर्श फिल्म बनाने के लिए वायुमंडलीय दबाव के तहत वाष्पीकरण कोटिंग सामग्री, वास्तव में, के रूप में कम पर्याप्त दबाव में (या वैक्यूम पर्याप्त उच्च नहीं है) उसी की हालत के तहत अच्छा परिणाम नहीं मिल सकता है, जैसे कि 102 समर्थन आदेश के तहत धमाकेदार, फिल्म नहीं केवल somberness, यहां तक कि ग्रे, काले, और यांत्रिक शक्ति एक ब्रश धीरे गिलहरी एल्यूमीनियम परत को नष्ट कर देगा ब्रश के साथ, गरीब है । वाष्पीकरण की वजह से एक निश्चित निर्वात शर्तों में किया जाना चाहिए:

(1) उच्च वैक्यूम डिग्री सुनिश्चित करता है कि vaporizer का औसत मुक्त पथ स्रोत से आधार तक की दूरी से अधिक है ।

गैस के अणुओं के थर्मल गति के कारण, अणुओं के बीच टकराव बहुत लगातार है, गैस के अणुओं के आंदोलन की गति काफी उच्च है (प्रति सेकंड कई सौ मीटर तक), लेकिन के रूप में यह आगे अन्य अणुओं टकराव से अधिक बार चलता है, दो सफलता collisions के बीच एक अणु चाल दूरी अपने मुक्त पथ कहा जाता है, और अणुओं की एक बड़ी संख्या के मुक्त पथ के सांख्यिकीय मतलब अणु का मतलब मुक्त रास्ता कहा जाता है ।

के बाद से गैस के दबाव इकाई मात्रा प्रति अणुओं की संख्या के लिए आनुपातिक है, औसत मुक्त रेंज गैस के दबाव के लिए आनुपातिक है । निर्वात जमाव पतली फिल्मों प्रक्रिया में, जब साठा दूरी आणविक मतलब मुक्त पथ से अधिक है, यह कम वैक्यूम जमाव कहा जाता है, और जब साठा दूरी आणविक मतलब मुक्त पथ से छोटा है, यह उच्च वैक्यूम कहा जाता है साठा. उच्च वैक्यूम जमाव प्रक्रिया में, परमाणुओं के वाष्पीकरण (या अणुओं) और अवशिष्ट गैस अणुओं की टक्कर नगण्य है, इतना है कि भाँप परमाणुओं सब्सट्रेट की ओर एक सीधी रेखा में मक्खी, इस प्रकार तक पहुँचने बड़ा काइनेटिक ऊर्जा रखने सब्सट्रेट की भाँप परमाणुओं और सब्सट्रेट एक अधिक ठोस फिल्म में गाढ़ा. कम निर्वात जमाव में, गति और टक्कर, या यहां तक कि अंतरिक्ष में भाप परमाणु समुच्चय के गठन के परिणाम के साथ भाँप परमाणुओं की दिशा में परिवर्तन । कारण वायुमंडल में जल वाष्प के समान है.

(२) अवशिष्ट गैस प्रदूषण को उच्च वैक्यूम पर कम किया जा सकता है

निर्वात के मामले में बहुत अधिक नहीं है, निर्वात चैंबर अवशिष्ट गैस अणुओं की एक बड़ी संख्या में शामिल हैं (ऑक्सीजन, नाइट्रोजन, पानी और हाइड्रोकार्बन, आदि), जो पतली फिल्म के चढ़ाना करने के लिए महान नुकसान ला सकते हैं:

● वे भाँप फिल्म अणुओं के साथ इस तरह टकराते हैं कि मतलब मुक्त मार्ग छोटा हो जाता है.

● वे के साथ टकराने और फिल्म बनाई जा रही सतह के साथ प्रतिक्रिया ।

● वे खुद को गठित फिल्म में छिपाकर रखते हैं और धीरे से फिल्म पर हमला करते हैं; वे अपने उपयोगी जीवन को कम करने के लिए वाष्पीकरण स्रोत के साथ गठबंधन ।

● वे काफूर फिल्म ऑक्साइड परत की सतह पर गठन इतना है कि वाष्पीकरण की प्रक्रिया को सुचारू रूप से बाहर नहीं किया जा सकता है ।

3. वैक्यूम माप

आधुनिक निर्वात प्रौद्योगिकी के विकास के 10-12pa करने के लिए वायुमंडलीय दबाव से वैक्यूम दबाव को मापने के लिए संभव बना दिया है, और इस तरह के एक विस्तृत श्रृंखला में माप काम करने के लिए वैक्यूम गेज का केवल एक तरह का उपयोग करने के लिए संभव नहीं है, और वहाँ रहे हैं कई वैक्यूम गेज की वैक्यूम माप के प्रकार क्रमशः अपनी सीमा को पूरा करने के लिए:

(1)  Thermocouple वैक्यूम गेजऔर पी़ंी वैक्यूम गेज

एक निश्चित सीमा के भीतर, गैस की थर्मल चालकता दबाव का एक समारोह है, जो thermocouple और पी़ंी गेज के माप सिद्धांत है ।

Thermocouple वैक्यूम गेज सीधे काम करने के लिए तापमान परिवर्तन को मापने की विधि को गोद ले । जब हीटिंग वर्तमान लगातार बनाए रखा है, अगर गैस दबाव कम हो जाती है, तो गैस थर्मल चालकता कम हो जाती है, thermocouple बढ़ जाती है के काम के तापमान, इसी तापविद्युत बल है कि बढ़ाने के लिए है, के माध्यम से प्रणाली दबाव का निर्धारण करने के लिए दबाव और विद्युतवाहक बल के बीच संबंध.

पी़ंी वैक्यूम गेज और thermocouple गेज भी सामांयतः मध्यम वैक्यूम रेंज माप के रूप में इस्तेमाल कर रहे हैं । पी़ंी वैक्यूम गेज एक गिलास या धातु खोल दिया है, खोल तार के उच्च तापमान प्रतिरोधकता के साथ सुसज्जित है (जैसे प्लेटिनम, टंगस्टन, आदि), दबाव ड्रॉप के साथ, रेशा तापमान और प्रतिरोध में वृद्धि होगी, मापा के अनुसार प्रतिरोध मूल्य, दबाव मूल्य परोक्ष रूप से प्राप्त किया जा सकता है ।

(2) शीत-कैथोड Ionization गेज

शीत कैथोड ionization वैक्यूम मीटर भी पेन वैक्यूम मीटर कहा जाता है । जब निर्वहन ट्यूब से कम दबाव पर संचालित है 102-mbar, के बाद से गैस अणुओं कैथोड से गैस आणविक प्रक्रिया के साथ anode कुछ इलेक्ट्रॉन टकराव के लिए शायद ही कभी, तो वर्तमान गैस के दबाव से संबंधित नहीं है । यदि चुंबकीय क्षेत्र को इलेक्ट्रॉन गति की ऊर्ध्वाधर दिशा में मजबूत किया जाता है, तो इलेक्ट्रॉन गति का पथ सर्पिल बन जाता है, जिससे इलेक्ट्रॉन से मिलने वाले अणुओं का अवसर बहुत बढ़ जाता है. बहुत कम गैस घनत्व पर भी बड़ी मात्रा में गैसें निकल सकती हैं । जब anode वोल्टेज और चुंबकीय क्षेत्र ताकत लगातार कर रहे हैं, एक निश्चित गैस संरचना के लिए, ईओण वर्तमान सीधे दबाव है, जो शीत कैथोड वैक्यूम गेज का काम कर सिद्धांत है से संबंधित है ।