मध्यम आवृत्ति मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग बिजली की आपूर्ति

मध्यम विद्युत चुम्बकीय स्पटरिंग विद्युत आपूर्ति का उद्भव मुख्य रूप से डीसी पॉवर रिएक्टिव स्पटरिंग के दौरान लक्षित विषाक्तता और चाप प्रज्वलन के कारण होता है। आर्क स्पटरिंग न केवल प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग में प्रकट होता है, बल्कि धातुओं के डीसी स्पटरिंग में भी हो सकता है, जिसके परिणामस्वरूप कोटिंग की सतह आकृति विज्ञान पर्याप्त घना नहीं होता है, जो सिस्टम की स्थिरता और फिल्म की गुणवत्ता को गंभीर रूप से प्रभावित करता है। मध्यवर्ती आवृत्ति स्पटरिंग पावर सप्लाई के साथ दो स्पटरिंग लक्ष्य के रूप में लोड, दो टारगेट काम वैकल्पिक रूप से, इसलिए स्पटरिंग लक्ष्य स्पैटरिंग द्वारा आधे से अधिक समय रिवर्स वोल्टेज के लिए स्पटरिंग चक्र को लक्षित करते हैं, लक्ष्य सामग्री की सतह पर संचित चार्ज का पूर्ण निर्वहन करते हैं, आर्क डिस्चार्ज और लक्ष्य विषाक्तता की सतह को नियंत्रित करने के लिए फायदेमंद है, विशेष रूप से झिल्ली परत का उपयोग करके प्रतिक्रिया पर्यावरण के लिए उपयुक्त है।
डीसी बिजली की आपूर्ति के साथ तुलना में, अगर बिजली की आपूर्ति में आवृत्ति और कर्तव्य चक्र (केवल वर्ग तरंग आउटपुट प्रकार) का समायोजन कार्य होता है, तो इन दो मापदंडों का कोटिंग प्रक्रिया पर भी महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है।

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