प्रदर्शन और एक टरबाइन आणविक पंप के लाभ

टर्बो आणविक पंप उच्च चल उत्तेजित देनेवाला की गति रोटेशन का उपयोग करने के लिए गैस के अणुओं को गति पारित है, गैस के दिशात्मक प्रवाह उत्पंनवैक्यूम पम्प. टर्बो आणविक पंप मुख्य रूप से पंप शरीर द्वारा अवयव, ब्लेड के साथ रोटर (यानी उत्तेजित देनेवाला चलती), स्थिर उत्तेजित देनेवाला और ड्राइव प्रणाली ।

लाभ

कुछ पहलुओं में टर्बो आणविक पंप के रूप में, यह क्रायोजेनिक पंप से बेहतर है, आयन पंप और प्रसार पंप प्रदर्शन बेहतर है । इसलिए, सामांय मामले में, टर्बो पंपों का अधिक उपयोग ।

(1) स्वच्छ, तेल मुक्त भाप भाटा

टर्बो आणविक पंप किसी भी तरह के बिना काम कर सकते है और ऑपरेशन के नियमों के अनुसार काम करते हैं, जो पंप कंटेनर के लिए एक साफ वैक्यूम वातावरण प्रदान कर सकते है और किसी भी हाइड्रोकार्बन शामिल नहीं है ।

(2) सुविधाजनक उपयोग करने के लिए

कई अनुप्रयोगों में, टर्बो पंपों उच्च वैक्यूम वाल्व या किसी न किसी वैक्यूम वाल्व की आवश्यकता नहीं हो सकती । बस बटन दबाएँ, पंप काम शुरू कर सकते हैं, वायुमंडलीय दबाव से अंतिम दबाव को कम किया जा सकता है. प्रणाली मोटे-टर्बो आणविक पंपों द्वारा पंप किया जा सकता है और गति के संचालन के लिए त्वरित किया जा सकता है । यह वाल्व, पाइप, जाल, वाल्व नियंत्रण और अंय निर्वात घटकों के लिए की आवश्यकता समाप्त । यह इन घटकों की विफलता को भी समाप्त करता है ।

(३) सुदृढ़ गैस परिवहन क्षमता

अधिकांश टर्बो आणविक पंप एक मजबूत करने के लिए हाइड्रोजन और हीलियम के रूप में प्रकाश गैसों देने की क्षमता है, उंहें अल्ट्रा के तहत प्रक्रिया आपरेशनों के लिए आदर्श उच्च शूंय बना । एक टर्बो आणविक पंप विशेष रूप से संक्षारक गैसों को हटाने के लिए डिजाइन नक़्क़ाशी, प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी, आयन बीम मशीनिंग, कम दबाव रासायनिक वाष्प जमाव, epitaxy और आयन आरोपण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है । प्रक्रियाओं के दौरान, खाली गैस क्रायोजेनिक पंप, आयन पंप, प्रसार पंप तेल जीर्णशीर्ण कर सकते हैं, और यहां तक कि मानक असुरक्षित टर्बो आणविक पंपों को नष्ट । के रूप में टर्बो आणविक पंप संचरण पंप के अंतर्गत आता है, पंप गैस में जमा नहीं किया जाएगा, तो यह उच्च गैस लोड की प्रक्रिया के लिए उपयुक्त है ।

(4) अल्ट्रा उच्च वैक्यूम अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त

सील और degassing के लिए एक अच्छा टर्बो आणविक पंप अच्छे प्रदर्शन के साथ दो चरण रोटरी पंप से सुसज्जित है (या एक ही प्रदर्शन सूखी पूर्व पंप) । अंतिम शूंय तक पहुंच सकते है 10^-9से 10^-10Torr (१३३.३ ते १३.३३ वसुली). यदि एक टर्बो आणविक पंप एक और टर्बो आणविक पंप एक धातु का उपयोग कर-सील और अच्छी तरह से degassed पंप से जुड़ा हुआ है, अपने अंतिम दबाव आम तौर पर 1 × 10 है^-101 × 10 तक^-11Torr (१३.३३ ते १.३३३ वसुली) कालावधीत. और क्रायोजेनिक पंपों या आयन पंपों के विपरीत, टर्बो आणविक पंपों अल्ट्रा उच्च वैक्यूम शर्तों के तहत पूर्ण पंपिंग गति से काम करते हैं ।

(5) उच्च दबाव के तहत अच्छा प्रदर्शन

कुछ टर्बो आणविक पंपों के प्रवेश दबाव के बीच चला सकते हैं 10^-1और 10^-3Torr (१३.३३ पॅ ते १३३.३ mPa). इस दबाव की सीमा में, आयन पंप इस्तेमाल नहीं किया जा सकता, क्रायोजेनिक पंप के लिए पंप गति या नियमित पुनर्जनन कुचलना की जरूरत है, और प्रसार पंप के काम अस्थिर हो जाएगा ।

(6) कम चक्र समय

टर्बो आणविक पंपों के अधिकांश, विशेष रूप से एक छोटे, आमतौर पर 1 ~ 3 मिनट की जरूरत है सामांय चल गति तक पहुंचने । विभिंन प्रकार के और मॉडलों के लिए पंप अलग है और तुरंत बंद किया जा सकता है और वातावरण को उजागर किया जा सकता है ।

(7) लंबे समय के लिए सामांय उपयोग

कुछ अनुप्रयोगों में, टर्बो आणविक पंप के सामांय उपयोग समय अंय पंपों की है कि बेहतर है । भारी गैस लोड और वाल्व रिसाव की वजह से, क्रायोजेनिक पंप अक्सर चर अंतराल पुनर्जनन या आयन पंप अक्सर मरंमत का कारण होगा, और टर्बो आणविक पंप भी वैक्यूम चैंबर के पंप तेल संदूषण को खत्म करने के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है ।