प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव

प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव

पीईसीवीडी (सिद्धांत) फिल्म घटक परमाणुओं वाली गैस को आयनित करने के लिए माइक्रोवेव या रेडियो फ्रीक्वेंसी का उपयोग है, जिससे एक स्थानीय प्लाज्मा बनता है, और प्लाज्मा बहुत रासायनिक रूप से सक्रिय होता है और प्रतिक्रिया करने में आसान होता है, सब्सट्रेट पर वांछित फिल्म जमा करता है।
रासायनिक प्रतिक्रिया को कम तापमान पर करने के लिए, प्रतिक्रिया को बढ़ावा देने के लिए प्लाज्मा की गतिविधि का उपयोग किया जाता है, इसलिए इस सीवीडी को प्लाज्मा वर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (पीईसीवीडी) कहा जाता है।

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