PVD कोटिंग मोटाई और निरीक्षण

PVD कोटिंग मोटाई और निरीक्षण

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कोटिंग की मोटाई कोटिंग की बाहरी सतह और कोटिंग के नीचे सब्सट्रेट सतह की दूरी को संदर्भित करती है, आमतौर पर 0 ~ 15um में, कई पहचान विधियां हैं, निम्नलिखित अधिक सामान्य तरीकों के वर्तमान आवेदन का परिचय देता है: क्रॉस सेक्शन विधि, गोलाकार निशान विधि और गैर-विनाशकारी पहचान विधि।

1. अनुभाग की विधि

अनुभाग विधि एक विनाशकारी पता लगाने की विधि है, वर्कपीस का फिर से उपयोग नहीं किया जा सकता है। यह माप के साथ कोटिंग अनुभाग में कटौती के साथ वर्कपीस या नमूने का परीक्षण करेगा, माप के लिए 1000 ~ 10000 गुना बड़ा, आवर्धन कारक, छोटा प्रभाव मानव कारकों में, उच्च परिशुद्धता। कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच की सीमा बहुत स्पष्ट है और यह सेमी में पैमाने से मापने के लिए सुविधाजनक है। शासक के शुरू और अंत बिंदुओं के बीच की दूरी कोटिंग की मोटाई है। आगे माप सही है या नहीं यह सही ढंग से कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच की सीमा का न्याय करता है, अन्यथा यह त्रुटियां लाएगा। यदि कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच का इंटरफ़ेस फ़ज़ी है, तो इस माप पद्धति का उपयोग न करना सबसे अच्छा है। सामान्य तौर पर, यह माप विधि सहज और सटीक है। इसके अलावा, जब इस पद्धति का उपयोग माप के लिए किया जाता है, तो अनुभाग का निरीक्षण करना बेहतर होता है, जो अपेक्षाकृत सपाट होना चाहिए। अन्यथा, अवलोकन और माप के लिए भी अनुभाग बनाने के लिए मैनुअल प्रसंस्करण किया जाना चाहिए।

तेल दर्पण का उपयोग माप के लिए कोटिंग अनुभाग का निरीक्षण करने के लिए भी किया जा सकता है। कट सैंपल को प्लास्टिक पाउडर में एक ब्लॉक सैंपल में दबाने, जलाने और बनाने के लिए रखा जाता है, और फिर जांची गई सतह को पीसकर, और जांची हुई सतह को पीसकर समतल किया जाता है। माप के दौरान, तेल से पंप की गई हवा को हस्तक्षेप को कम करने के लिए उद्देश्य लेंस और मापा सतह के बीच मापा जाता है।

2। गेंद गड्ढा

बॉल मार्क विधि एक चाप के लिए कोटिंग पीस, कोटिंग और मैट्रिक्स को पीसकर गड्ढे, बॉल पीस इंस्ट्रूमेंट सेक्शन की सतह पर स्टील बॉल के एक निश्चित व्यास का उपयोग करना है। पीस ऑपरेशन की आवश्यकताएं गेंद के निशान परीक्षण के समान होती हैं, जो कोटिंग के आसंजन को मापता है। गेंद पीसने के बाद, इमेज को माइक्रोस्कोप के माध्यम से इमेजिंग सिस्टम के माध्यम से और मॉनिटर के नीचे देखा जाता है।

बॉल मार्क विधि से वर्कपीस की उपस्थिति खराब हो जाएगी। यदि पता लगाने का कार्य कार्यात्मक क्षेत्र में नहीं है, तो यह आमतौर पर इसके पुन: उपयोग को प्रभावित नहीं करेगा। हालांकि, त्रुटियों से बचने के लिए, इस विधि के साथ परीक्षण करने से पहले कलाकृतियों के मालिक के साथ चर्चा करना और प्राप्त करना आवश्यक है।

3। गैर-विनाशकारी परीक्षण (NDT)

Nondestructive परीक्षण विधि वर्कपीस को नुकसान पहुँचाए बिना वर्कपीस पर कोटिंग की मोटाई का पता लगाने के लिए है। एनडीटी विधियों के कई प्रकार हैं, सामान्य तौर पर, nondestructive परीक्षणों को सब्सट्रेट और कोटिंग संरचना प्रदान करने की आवश्यकता होती है, या बेंचमार्क डेटा का विश्लेषण करने के लिए कोटिंग नमूना टुकड़ा प्रदान करते हैं, परीक्षण में, मापा जाएगा और कोटिंग संरचना संरचना की तुलना मास्टर नमूना ब्लॉकों से की जाती है। कोटिंग की मोटाई के सिद्धांत को कम करें, इसलिए, विभिन्न सब्सट्रेट और कोटिंग संरचना विश्लेषण के लिए, मापने का कार्यक्रम बनाएं, और फिर वास्तविक माप के लिए। बेशक, कुछ उपकरणों को सीधे नमूना ब्लॉक बनाने के बिना मापा जा सकता है, लेकिन त्रुटि बड़ी है। यह खंड मुख्य रूप से एक्स-रे प्रतिदीप्ति (XRF) का परिचय देता है।

एक्सआरएफ साधन मुख्य रूप से एक्स-रे उत्तेजना स्रोत और डिटेक्शन सिस्टम से बना है। एक्स-रे ट्यूब उत्पादन एक्स-रे आधारित किरणें) (विकिरण या हिट वर्कपीस को मापने के लिए, मापा जाने वाला वर्कपीस के प्रत्येक तत्व को प्रेरित किया जाता है, माध्यमिक एक्स किरणों को उत्सर्जित किया जाता है। विशिष्ट ऊर्जा विशेषताओं के साथ विभिन्न तत्वों द्वारा उत्सर्जित द्वितीयक किरणें (जो कि माध्यमिक किरणों की ऊर्जा विशेषता के अनुसार प्रकार और तत्वों की सामग्री सीख सकती हैं)। पहचान प्रणाली इन उत्साहित माध्यमिक किरणों की ऊर्जा और मात्रा को मापती है। डिटेक्शन सिस्टम सॉफ्टवेयर पता की गई ऊर्जा और राशि की जानकारी को संबंधित तत्वों और सामग्री में परिवर्तित करता है, ताकि परीक्षण के तहत वर्कपीस में तत्वों के प्रकार और सामग्री का पता लगाया जा सके। एक्स-रे प्रतिदीप्ति सिद्धांत का उपयोग करके, आवर्त सारणी में हर तत्व को सैद्धांतिक रूप से मापा जा सकता है। , व्यावहारिक अनुप्रयोग में, प्रभावी मौलिक माप सीमा तत्व 11, सोडियम (Na) से लेकर तत्व 92, यूरेनियम (U) तक है।

उपरोक्त सिद्धांतों के अनुसार, नमूने की कोटिंग की मोटाई को मापते समय, एक्सआरएफ मैट्रिक्स और कोटिंग की तत्व संरचना का विश्लेषण करता है। आमतौर पर, कोटिंग की तत्व संरचना मैट्रिक्स से बहुत अलग होती है। इसलिए, गणना सॉफ़्टवेयर कोटिंग की मोटाई की गणना कर सकता है। यदि विभिन्न सबस्ट्रेट्स और कोटिंग्स की तत्व संरचना को अग्रिम में अलग से पता लगाया जाता है और कंप्यूटर डेटाबेस में एक मानक के रूप में संग्रहीत किया जाता है, जब एक्सआरएफ का पता लगाया जाता है, तो पता चला तत्व संरचना की तुलना इसी मैट्रिक्स और कोटिंग प्रकार को खोजने के लिए की जाती है, और इंटरफ़ेस का न्याय करता है। कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच, ताकि कोटिंग की मोटाई अधिक सटीक रूप से मापी जा सके।