स्पटरिंग आयन पंप - टाइटेनियम उच्च बनाने की क्रिया पंप सेट

स्पटरिंग आयन पंप - टाइटेनियम उच्च बनाने की क्रिया पंप सेट

1. वैक्यूम चैम्बर 2. अल्ट्रा-हाई वैक्यूम गेट वाल्व 3. स्पटरिंग आयन पंप - टाइटेनियम उच्च बनाने की क्रिया पंप सेट 4. अल्ट्रा-हाई वैक्यूम गेट वाल्व 5. कोल्ड ट्रैप 6. डिफ्यूजन पंप 7. रिलीज वाल्व 10. मैकेनिकल वैक्यूम पंप
अंजीर। 2 संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम

चित्रा 2 एक अन्य प्रकार की संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम दिखाता है। प्रणाली हैठीकवैक्यूम सीलिंग भट्टियों, टैंटलम चिप भट्टियों और अन्य उपकरणों के लिए। सिस्टम का मुख्य पंप स्पटरिंग आयन पंप और टाइटेनियम उच्च बनाने की क्रिया पंप सेट है। निर्वात कक्ष की सीमा निर्वात 5×10-7Pa तक पहुंच सकता है। प्रणाली एक तेल प्रसार पंप और यांत्रिक पंप से बनी एक इकाई से सुसज्जित है, जिसका उपयोग मुख्य पंप के रूप में कच्चे पंपिंग और प्री-पंप पंप के लिए किया जाता है और साथ ही प्रक्रिया के दौरान जारी की गई बड़ी मात्रा में गैस को पंप कर सकता है।

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