वैक्यूम मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन द्वारा असमान फिल्म का कारण

वैक्यूम मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन द्वारा असमान फिल्म का कारण

वे कौन से कारक हैं जो असमान मैग्नेट्रोन स्पटरिंग वैक्यूम कोटिंग मशीन की ओर ले जाते हैं? वह मित्र जो इस सम्मान के काम में लगा हुआ है वास्तव में अभी भी तुलनात्मक समझ है, इसे मूल रूप से निम्नलिखित कुछ कारकों में विभाजित किया जा सकता है: वैक्यूम स्थिति, चुंबकीय क्षेत्र, आर्गन।

मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग वैक्यूम कोटिंग मशीन का संचालन यह है कि आर्गन के इलेक्ट्रॉन बमबारी द्वारा निर्मित आर्गन आयनों को वैक्यूम राज्य के तहत ऑर्थोगोनल चुंबकीय क्षेत्र द्वारा बमबारी किया जाता है, और लक्ष्य आयनों को फिल्म बनाने के लिए वर्कपीस की सतह पर जमा किया जाता है।

वैक्यूम स्थिति में, नियंत्रण के लिए पंपिंग सिस्टम की आवश्यकता होती है। प्रत्येक पंपिंग पोर्ट को एक साथ और समान शक्ति के साथ शुरू किया जाना चाहिए, ताकि पंपिंग की एकरूपता को अच्छी तरह से नियंत्रित किया जा सके। यदि पंपिंग एक समान नहीं है, तो निर्वात कक्ष में दबाव एक समान नहीं हो सकता है, और दबाव का आयनों की गति पर एक निश्चित प्रभाव होता है। इसके अलावा, पंपिंग समय को नियंत्रित किया जाना चाहिए, बहुत कम वैक्यूम की कमी का कारण होगा, लेकिन बहुत लंबा और संसाधनों की बर्बादी, लेकिन एक वैक्यूम गेज है, इसे नियंत्रित करने के लिए कोई समस्या नहीं है।

ऑर्थोगोनल क्षेत्र काम करता है, लेकिन आपको एक सौ प्रतिशत सजातीय चुंबकीय क्षेत्र की तीव्रता असंभव है, आमतौर पर मजबूत चुंबकीय क्षेत्र, फिल्म की मोटाई बड़ी होती है, इसके विपरीत छोटा होता है, जिससे फिल्म की मोटाई सुसंगत नहीं होती है, लेकिन उत्पादन की प्रक्रिया में , असमान असमान फिल्म की वजह से चुंबकीय क्षेत्र के कारण आम नहीं हैं, क्यों?

मूल चुंबकीय क्षेत्र की ताकत अच्छी नहीं है, लेकिन एक ही समय में, वर्कपीस एक ही समय में संचालन में है, और कई बार कोटिंग प्रक्रिया के लिए मामले का एक लक्ष्य परमाणु तलछटी अंत है, कुछ समय के लिए भागों हालांकि मोटी और पतले हिस्से, लेकिन एक और समय, मूल तलछटी मोटाई के पतले भागों पर मजबूत चुंबकीय क्षेत्र की कार्रवाई के तहत, पतले हिस्से की मोटाई पर, कई बार, अंतिम फिल्म के बाद, फिल्म की एकरूपता अच्छी होती है।

आर्गन की एकरूपता फिल्म की एकरूपता को भी प्रभावित करेगी, जिसका सिद्धांत लगभग वैक्यूम डिग्री के समान है। आर्गन के प्रवेश के कारण, निर्वात कक्ष में दबाव बदल जाएगा, और दबाव की एकरूपता को मैग्नेट्रोन स्पटरिंग वैक्यूम कोटिंग मशीन की फिल्म मोटाई की एकरूपता में नियंत्रित किया जा सकता है।