वैक्यूम आयन कोटिंग के सिद्धांत और प्रकार

आयन चढ़ाना वैक्यूम कक्ष में वाष्प कक्ष या वाष्पीकृत सामग्री भाग को अलग करने का उपयोग होता है, और वाष्पीकृत सामग्री या रिएक्टेंट को सब्सट्रेट पर जमा किया जाता है जबकि वाष्पशील पदार्थ के गैस आयन या कण बमबारी होते हैं। आयन चढ़ाना जो चमक निर्वहन घटना, प्लाज्मा प्रौद्योगिकी और वैक्यूम वाष्पीकरण को जोड़ता है, न केवल फिल्म की गुणवत्ता में काफी सुधार करता है, बल्कि फिल्म के अनुप्रयोग का विस्तार भी करता है। इसके फायदे मजबूत फिल्म आसंजन, अच्छे विवर्तन, और व्यापक फिल्म सामग्री हैं।

डीएम ने पहली बार आयन चढ़ाना के सिद्धांत का प्रस्ताव दिया। कामकाजी प्रक्रिया निम्नानुसार है: वैक्यूम कक्ष 4 × 10 ^-3 पी या उच्चतम की वैक्यूम डिग्री पर पंप किया जाता है, फिर उच्च वोल्टेज बिजली की आपूर्ति को जोड़ता है, और कम दबाव वाले गैस निर्वहन के निम्न तापमान प्लाज्मा क्षेत्र की स्थापना की जाती है। वाष्पीकरण स्रोत और सब्सट्रेट। सब्सट्रेट इलेक्ट्रोड एक चमक डिस्चार्ज कैथोड बनाने के लिए 5 केवी नकारात्मक डीसी उच्च वोल्टेज से जुड़ा हुआ है। चमक निर्वहन क्षेत्र में उत्पन्न निष्क्रिय गैस आयनों को कैथोड के अंधेरे क्षेत्र में प्रवेश किया जाता है और सब्सट्रेट की सतह पर बमबारी करने और साफ करने के लिए विद्युत क्षेत्र द्वारा तेज़ किया जाता है। कोटिंग प्रक्रिया के दौरान, लक्ष्य को गैसीफिकेशन के लिए गर्म किया जाता है और इसके परमाणु प्लाज्मा क्षेत्र में प्रवेश करते हैं, और आयनकारी गैस आयनों और इलेक्ट्रॉनों के साथ टकराव करते हैं, जो आयनीकरण के कुछ हिस्से होते हैं। आयनकारीकरण के बाद, आयनों और गैस आयनों ने उच्च ऊर्जा वाले कोटिंग की सतह पर हमला किया, जिसके परिणामस्वरूप फिल्म की गुणवत्ता में सुधार हुआ।

प्रतिरोधी हीटिंग, इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग, प्लाज्मा इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग, उच्च आवृत्ति प्रेरण हीटिंग इत्यादि जैसे कई प्रकार के आयन चढ़ाना आदि हैं। बहु चाप आयन चढ़ाना और सामान्य आयन चढ़ाना के बीच एक बड़ा अंतर है। चाप निर्वहन बहु चाप आयन चढ़ाना में प्रयोग किया जाता है, लेकिन यह परंपरागत आयन चढ़ाना के चमक निर्वहन द्वारा जमा नहीं किया जाता है। एक सरल तरीके से, बहु चाप आयन चढ़ाना का सिद्धांत कैथोड लक्ष्य को वाष्पीकरण स्रोत के रूप में उपयोग करना है, लक्ष्य और एनोड शैल के बीच चाप निर्वहन के माध्यम से, ताकि लक्ष्य वाष्पित हो जाए, इस प्रकार प्लाज्मा में अंतरिक्ष बनता है , और सब्सट्रेट जमा किया जाता है। इसलिए, विभिन्न आयन चढ़ाना के लिए विभिन्न विधियों का उपयोग किया जाना चाहिए।