कोटिंग फिल्म का तनाव

कोटिंग फिल्म का तनाव

I. फिल्म तनाव और तनाव के कारणों का वर्गीकरण

आंतरिक तनाव को आंतरिक आंतरिक तनाव और अतिरिक्त आंतरिक तनाव में विभाजित किया जा सकता है। पूर्व फिल्म निर्माण की प्रक्रिया में है, क्रिस्टल नाभिक के एक दूसरे के साथ विलय होने पर फिल्म में निर्मित संरचनात्मक दोष और थर्मल प्रभाव प्रेरित होते हैं

। जब गैस चरण परमाणुओं को सब्सट्रेट में इंजेक्ट किया जाता है, तो फिल्म बनाने की प्रक्रिया के दौरान बड़ी मात्रा में गर्मी निकलती है । यह गर्मी की मात्रा सब्सट्रेट की शमन के बराबर होती है, जिसके परिणामस्वरूप तनाव उत्पन्न होता है, और एक ही समय में।

चूंकि भाप सब्सट्रेट जमाव के प्रारंभिक चरण में नाभिक बनाता है, अनाज की सतह का तनाव आसन्न अनाज को मोटा बनाता है और बड़ा अनाज बनाता है , यह सह-निर्माण, इसकी सतह की ऊर्जा कम हो जाएगी, सतह क्षेत्र में कमी, अनाज संकोचन और सब्सट्रेट को रोक देगा। यह इस तरह से संघनन और सिकुड़ने से होता है, जिससे फिल्म संक्षेपण आंतरिक तनाव पैदा करती है। उत्तरार्द्ध फट के बाद फिल्म बनाने के कारण है

कोटिंग कक्ष में वायुमंडल या वायुमंडल के संपर्क में, ऑक्सीकरण द्वारा निर्मित फिल्म। उपरोक्त तीन प्रतिक्रियाएं कि क्या बल तन्यता तनाव या संपीड़ित तनाव के रूप में एसीटीएस है, यह झिल्ली आधार इंटरफ़ेस पर होगा

कतरनी तनाव उत्पन्न करना। जब झिल्ली आधार इंटरफेस के बीच आसंजन को दूर करने के लिए कतरनी तनाव काफी बड़ा होता है, तो झिल्ली फट जाएगी।

वारिंग या शेडिंग, ताकि फिल्म और सब्सट्रेट का ठीक से मिलान हो सके, फिल्म के थर्मल स्ट्रेस को कम करें, फिल्म का सही फॉर्म्युलेशन , डिपोजिशन की प्रक्रिया में, ताकत की कुंजी आंतरिक तनाव को कम कर रही है या दो स्ट्रेस को कम करती है। अन्य भी फिल्म आसंजन में सुधार करने के लिए है।

2. कम तनाव फिल्म प्राप्त करने का ई तरीका

निम्न तनाव वाली फिल्मों को प्राप्त करने के लिए, झिल्ली की तैयारी में निम्नलिखित उपाय किए जा सकते हैं :

(1) थर्मल स्ट्रेस को कम करने के लिए सही सब्सट्रेट तापमान का चयन करें

थर्मल तनाव को कम करने से जमाव को चुना जाना चाहिए जब सब्सट्रेट का तापमान, लेकिन कम पिघलने बिंदु धातु फिल्म संरचना के कारण उच्च आंतरिक तनाव को कम करने से चुनना चाहिए, छोटे आंतरिक तनाव है, थर्मल तनाव इस समय एक मुख्य भूमिका निभाता है, जैसे इंडियम टिन लीड जैसी अतिचालक फिल्मों की तैयारी, तरल हीलियम तापमान थर्मल स्ट्रेस पर सब्सट्रेट शून्य हो सकता है, इसलिए कम पिघलने बिंदु धातु, अन्य प्रकार की धातु पर कम सब्सट्रेट तापमान का चयन करना चाहिए, सब्सट्रेट तापमान को कुछ लंबा चुनना चाहिए, ताकि आंतरिक तनाव को कम करने के उद्देश्य को प्राप्त करने के लिए

इसके अलावा, झिल्ली और सब्सट्रेट का उचित चयन, ताकि फिल्म के करीब दो सामग्रियों का थर्मल विस्तार गुणांक भी थर्मल तनाव को कम करने का एक तरीका है

(2) अवशिष्ट गैस दबाव का सही चयन

फिल्म बयान, अवशिष्ट गैस का दबाव बहुत अधिक है, भाप और अवशिष्ट गैस अणुओं के बीच टकराव की संभावना बढ़ जाएगी, जो न केवल जमाव दर को प्रभावित करती है, बल्कि झिल्ली संरचना यादृच्छिक व्यवस्था द्वारा उत्पन्न टकराव प्रकीर्णन घटना के कारण भी होती है और छिद्र झिल्ली परत बनाती है , झिल्ली के ऑक्सीकरण के लिए आसान, यहां तक कि झिल्ली परत के भीतर बुलबुले उत्पन्न करने के लिए इसलिए कोटिंग इनडोर अवशिष्ट गैस का दबाव प्रतिकूल और अतिरंजित है, 10 ^-3 -10 ^-4 पा में चुनें उपयुक्त है

(3) प्रतिक्षेप दर का विकल्प

निक्षेपण दर वाष्पीकरण स्रोत तत्व के तापमान, आकार, आकार, दूरी और वाष्पीकरण क्षमता पर निर्भर करती है । डिपॉज़िट रेट का चुनाव न केवल फिल्म की प्रदर्शन आवश्यकताओं और तनाव पर विचार करना चाहिए, बल्कि प्रक्रिया भी

आवश्यकताओं। प्रवाहकीय धातु की फिल्मों के लिए, चित्रण दर को बड़ा होने के लिए चुना जा सकता है, जैसे कि फिल्म, दाने का आकार जितना छोटा हो, गाँठ कॉम्पैक्ट संरचना, कमजोर ऑक्सीकरण, उज्ज्वल और चिकनी सतह, अच्छी विद्युत चालकता। फिल्म सिंक को बढ़ाने के लिए प्रतिरोध फिल्म पर उत्पाद की स्थिरता के लिए झिल्ली का उचित ऑक्सीकरण आवश्यक है। इसलिए, कुछ को डिपोजिट रेट धीमा किया जा सकता है । क्योंकि अधिकांश ढांकता हुआ झिल्ली ऑक्साइड या अन्य यौगिक झिल्ली होते हैं, वे ऑक्सीकरण होने पर टूट जाते हैं। या हीटर उत्पादन रासायनिक प्रतिक्रिया के साथ, दोनों बाष्पीकरणीय स्रोत तापमान से संबंधित हैं, और ढांकता हुआ फिल्म की गर्मी चालन खराब है, पीड़ित है जब बाष्पीकरणीय गर्मी असमान है, तदनुसार धीमी गति से जमा करने की दर का उपयोग करना चाहिए।

(4) फिल्म मोटाई और भाप की घटना कोण की पसंद

फिल्म की मोटाई और औसत अवशिष्ट तनाव के बीच संबंध आंकड़ा 1-2-7 में दिखाया गया है। फिल्म की मोटाई 100nm से अधिक हो जाती है जब तनाव नहीं बदलता है। हालांकि, झिल्ली - बेस इंटरफेस में तनाव के कारण कतरनी बल

यह सीधे फिल्म की मोटाई के लिए आनुपातिक है, इसलिए फिल्म की मोटाई बहुत बड़ी होने पर कतरनी बल आसंजन से अधिक हो सकता है, जिससे फिल्म को नुकसान होता है ।

चित्रा1-2-7 वाष्पीकरण और चांदी की फिल्मों के स्पंदन के दौरान औसत अवशिष्ट तनाव

छोटे वाष्पीकरण दूरी, घटना कोण के साथ उपकरण के लिए भाप के घटना कोण का चयन करना भी बहुत महत्वपूर्ण है

घटना कोण को कम करने के लिए, कम सब्सट्रेट जमा करना बेहतर है

आवश्यक है। घटना का कोण आम तौर पर 15 ° से अधिक नहीं होना चाहिए । बेशक, बेस पीस फ्रेम की उचित सेटिंग भी पारित कर सकते हैं । इस समस्या को हल करने के लिए।

( 5) अतिरिक्त आंतरिक तनावों का उचित नियंत्रण और उन्मूलन

अतिरिक्त आंतरिक तनाव ज्यादातर संपीड़ित तनाव है, जो बयान के दौरान निर्मित फिल्म के तनाव गुणों के अनुसार उपयुक्त हो सकता है

नियंत्रण और समायोजन, जैसे कि फिल्म में एक बड़ा तन्यता तनाव होता है, अधिक विविधता प्राप्त करने के लिए अतिरिक्त तनाव बना सकता है । तनावों की पारस्परिक क्षतिपूर्ति।

इसके अलावा, फिल्म चित्रण के बाद, वैक्यूम कमरे में उपयुक्त थर्मल इन्सुलेशन किया जा सकता है, ताकि फिल्म की आंतरिक संरचना को स्थिर किया जा सके और सतह पर एक बहुत पतली शुद्ध फिल्म बनाई जा सके। नए जमा किए गए फिल्म को यथासंभव कम या वायुमंडल के संपर्क में नहीं रखना महत्वपूर्ण है, खासकर जब सब्सट्रेट का तापमान कमरे के तापमान से बहुत अधिक है