अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम

अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम

एक प्रसार पंप श्रृंखला यांत्रिक पंप श्रृंखला शीत जाल प्रणाली
चित्र 5-13 वैक्यूम सिस्टम, प्रसार पंप श्रृंखला दो तरल नाइट्रोजन कोल्ड ट्रैप दिखाता है, और वैक्यूम चैम्बर और कोल्ड ट्रैप 6 400 ~ 450 डिग्री बेकिंग का सामना कर सकते हैं। इस तापमान पर, निर्वात कक्ष की दीवार और शीत जाल की दीवार पर सोखी हुई गैस और संघनित पंप तेल को हटाया जा सकता है। सिस्टम आम तौर पर 1.33×10-7Pa की सीमा वैक्यूम प्राप्त कर सकता है।

▲ चित्र 5-13 तेल प्रसार पंप अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम: 1- वैक्यूम चैम्बर 2- थर्मोकपल वैक्यूम गेज 3-बीए वैक्यूम गेज 4- ब्लीड वाल्व {{7} } अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वाल्व 6, {{10} कोल्ड ट्रैप 8- आयनीकरण वैक्यूम गेज 9- डिफ्यूजन पंप 10- फ्रंट पाइप वाल्व 11- फ्रंट ट्रैप 12- सोलेनॉइड वाल्व 13- मैकेनिकल पंप 14- अल्ट्रा-हाई वैक्यूम पाइप वाल्व 15- बेकिंग डिवाइस

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