असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग

असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग
असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कैथोड के अंदर और बाहर चुंबकीय ध्रुवों के असमान चुंबकीय प्रवाह को संदर्भित करता है। असंतुलित चुंबकीय क्षेत्र की भूमिका लक्ष्य सतह से तेजी से भागते हुए - गतिमान द्वितीयक इलेक्ट्रॉनों को फंसाना है। ये इलेक्ट्रॉन लक्ष्य सतह से दूर तटस्थ गैस परमाणुओं के साथ आयनित होते हैं और सब्सट्रेट क्षेत्र में अधिक आयन और अधिक इलेक्ट्रॉनों का उत्पादन करते हैं, इस प्रकार सब्सट्रेट आयन बमबारी में काफी वृद्धि होती है। असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग के विकास के कारण पतली फिल्मों की गुणवत्ता में काफी सुधार हुआ है।

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