लक्ष्य sputtering पर अनाज के आकार का क्या प्रभाव है

लक्ष्य sputtering पर अनाज के आकार का क्या प्रभाव है

आमतौर पर, लक्ष्य सामग्री माइक्रोन से मिलीमीटर तक के अनाज के आकार के साथ पॉलीक्रिस्टलाइन होती है। अनाज का आकार जितना छोटा होता है, अनाज की सीमा क्षेत्र उतना ही बड़ा होता है, और प्रदर्शन पर उतना ही अधिक प्रभाव पड़ता है। एक ही लक्ष्य के लिए, ठीक अनाज के साथ लक्ष्य की sputtering दर मोटे अनाज के साथ लक्ष्य की तुलना में तेज है। छोटे अनाज के आकार के अंतर (समान वितरण) के साथ लक्ष्य sputtering द्वारा जमा पतली फिल्मों में अधिक समान मोटाई वितरण होता है। अध्ययन के अनुसार, यदि टाइटेनियम लक्ष्य के अनाज के आकार को 100um से नीचे नियंत्रित किया जाता है और अनाज के आकार में परिवर्तन को 20% के भीतर रखा जाता है, तो sputtering द्वारा प्राप्त फिल्म की गुणवत्ता में बहुत सुधार किया जा सकता है।

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