मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्यों की पावर-कैरीइंग क्षमता का विश्लेषण

  1. लक्षित क्षेत्र और लोड पावर रेंज

(1) सर्कुलर प्लानर मैग्नेट्रॉन लक्ष्य की पावर घनत्व आमतौर पर 1 ~ 25w / सेमी ^{2 होती है}

(2) आयताकार प्लानर मैग्नेट्रॉन लक्ष्य की शक्ति घनत्व 1 ~ 36W / सेमी ^{2 है}

(3) कॉलमर मैग्नेट्रॉन लक्ष्य और शंकु प्लानर चुंबक लक्ष्य (एस बंदूक) की शक्ति घनत्व आम तौर पर 40 ~ 50W / सेमी ^{2 होती है} ।

2. मैग्नेट्रॉन लक्ष्य की वास्तविक ले जाने की शक्ति

स्पटरिंग प्रौद्योगिकी और फिल्म गुणवत्ता आवश्यकताओं के अतिरिक्त, चुंबक लक्ष्य की वास्तविक असर शक्ति भी ठंडा करने की स्थिति और लक्ष्य की गर्मी अपव्यय स्थितियों से निकटता से संबंधित है।

शीतलन विधि के आधार पर मैग्नेट्रॉन लक्ष्यों को दो प्रकारों में "प्रत्यक्ष जल शीतलन लक्ष्य" और "अप्रत्यक्ष जल शीतलन लक्ष्य" में विभाजित किया जा सकता है।

लंबी अवधि के उपयोग के बाद लक्ष्य की बुढ़ापे को ध्यान में रखते हुए इसकी गर्मी अपव्यय की स्थिति खराब होती है, और विभिन्न लक्षित सामग्रियों के विभिन्न ताप हस्तांतरण गुणांक को ध्यान में रखते हुए, चुंबक लक्ष्य की अंतिम लोड शक्ति और प्रत्यक्ष जल शीतलन लक्ष्य की वास्तविक अधिकतम शक्ति बिजली घनत्व रेंज की ऊपरी सीमा से हल्के से कम सेट किया जा सकता है। और अप्रत्यक्ष जल शीतलन लक्ष्य के वास्तविक अधिकतम भार को बिजली घनत्व सीमा की ऊपरी सीमा के आधे हिस्से में सेट किया जा सकता है।

जब मैग्नेट्रॉन लक्ष्य (मुख्य रूप से क्यू, एजी, पीतल, और अल कांस्य) "स्व-स्पटरिंग" होता है, तो यह आमतौर पर एक मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य का उपयोग करता है जिसे विशेष रूप से "प्रत्यक्ष पानी-ठंडा" के लिए डिज़ाइन किया गया है। उपयोग करने के लिए अंतिम ले जाने की शक्ति लक्ष्य शक्ति घनत्व रेंज की ऊपरी सीमा से अधिक होनी चाहिए।