कोटिंग प्रक्रिया में पूर्वाग्रह वोल्टेज का वर्गीकरण

कोटिंग प्रक्रिया में पूर्वाग्रह वोल्टेज का वर्गीकरण:

1, डीसी नकारात्मक पूर्वाग्रह
प्लाज्मा में सकारात्मक आयन वर्कपीस पर नकारात्मक डीसी पूर्वाग्रह वोल्टेज लोड करके अधिक ऊर्जा प्राप्त कर सकते हैं। सकारात्मक आयन वर्कपीस की बमबारी में तेजी ला सकते हैं और कुछ हद तक लक्ष्य की सतह से छिड़के गए आवेशित आयनों के जमाव का मार्गदर्शन कर सकते हैं। डीसी नकारात्मक पूर्वाग्रह बिना किसी रुकावट के निरंतर है, इसलिए इसका सब्सट्रेट पर एक निश्चित हीटिंग प्रभाव पड़ता है।
2, डीसी सकारात्मक पूर्वाग्रह
आयन चढ़ाना के गैस निर्वहन में, गैस न्यूक्लिएटेड कण एक निश्चित नकारात्मक क्षमता दिखाते हैं। इस मामले में, वर्कपीस एक निश्चित सकारात्मक पूर्वाग्रह से भरा हुआ है, जो फिल्म जमाव के लिए फायदेमंद है।
3. पल्स पूर्वाग्रह
दोलन प्लाज्मा. प्लाज्मा के घनत्व और तापमान को पल्स ड्यूटी अनुपात को कम करके और पल्स पावर की आपूर्ति की तीव्रता को बढ़ाकर बढ़ाया जा सकता है। बमबारी प्रभाव सभी प्रकार के सब्सट्रेट (प्रवाहकीय और गैर-प्रवाहकीय) पर बेहतर होता है। नतीजतन, द्वितीयक इलेक्ट्रॉनों का जीवित रहने का समय बढ़ जाता है, टकराव की संभावना बढ़ जाती है, और प्लाज्मा घनत्व बढ़ जाता है। जमाव दर को नाड़ी आवृत्ति और शुल्क चक्र को समायोजित करके नियंत्रित किया जा सकता है। पल्स आवृत्ति और शुल्क चक्र को समायोजित करके तापमान वृद्धि को नियंत्रित किया जा सकता है, और सब्सट्रेट के मूल ऊतक को नुकसान से बचने के लिए कम तापमान पर फिल्म बनाई जा सकती है। एकाधिक आर्क्स के लिए, निक्षेपण दर बहुत तेज है, इसलिए यह इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों और अन्य सटीक वर्कपीस के फिल्म जमाव के लिए उपयुक्त नहीं है। नाड़ी पूर्वाग्रह की शुरूआत को प्रभावी ढंग से सुधारा जा सकता है।
4, शून्य पूर्वाग्रह और निलंबन पूर्वाग्रह
आवेशित कणों (जैसे सरल वाष्पीकरण, आदि) के बिना कोटिंग प्रक्रिया में, शून्य पूर्वाग्रह / निलंबन पूर्वाग्रह का उपयोग किया जा सकता है।
वर्कपीस विरूपण को रोकने के लिए कम तापमान वर्कपीस (जैसे प्लास्टिक भागों, आदि) कोटिंग की सहिष्णुता, शून्य पूर्वाग्रह / निलंबन पूर्वाग्रह का चयन कर सकती है या छोटे शुल्क चक्र कम आयाम पूर्वाग्रह वोल्टेज का चयन कर सकती है।

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