मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग फिल्म की आम समस्या-शूटिंग

फिल्म भूरे और अंधेरे है

1. वैक्यूम की डिग्री 0.67 पीए से कम है। वैक्यूम की डिग्री 0.13-0.4 पीए तक बढ़ाई जानी चाहिए।

2. Argon की शुद्धता 99.9% से कम है। Plaese 99.99% की शुद्धता के साथ Argon का उपयोग करें।

3. Inflatable प्रणाली रिसाव। रिसाव को खत्म करने के लिए मुद्रास्फीति प्रणाली की जांच की जानी चाहिए।

4. प्राइमर पूरी तरह से ठीक नहीं है। प्राइमर का इलाज समय उचित रूप से बढ़ाया जाना चाहिए।

5. चढ़ाया भाग से जारी गैस की मात्रा बहुत बड़ी है। चैम्बर को सूखा और मुहर लगाना चाहिए

मंद और सुस्त सतह

1. स्पटरिंग समय बहुत लंबा है। समय उचित रूप से छोटा किया जाना चाहिए।

2. स्पटरिंग और फिल्म बनाने की गति बहुत तेज है। कृपया स्पटरिंग वर्तमान या वोल्टेज को ठीक से कम करें।

कोटिंग के असमान रंग

1. फिल्म बहुत पतली है। कृपया स्पटरिंग गति या स्पटरिंग समय बढ़ाएं।

2. क्रांतिकारी स्थिरता डिजाइन। स्थिरता डिजाइन में सुधार किया जाना चाहिए।

3. सब्सट्रेट की ज्यामिति बहुत जटिल है। कृपया सब्सट्रेट की रोटेशन गति को उचित रूप से बढ़ाएं।

फिल्म में झुर्री या दरारें हैं

1. वाष्पीकरण दर बहुत तेज है। इसे ठीक से धीमा किया जाना चाहिए।

2. फिल्म बहुत मोटी है। स्पटरिंग समय उचित रूप से छोटा होना चाहिए।

3. सब्सट्रेट का तापमान बहुत अधिक है। कृपया सब्सट्रेट के हीटिंग समय को छोटा करें।

फिल्म की सतह में पानी के निशान, फिंगरप्रिंट और सूट कण होते हैं

1. सफाई के बाद सब्सट्रेट पर्याप्त सूखे नहीं है। प्री-चढ़ाना उपचार को मजबूत किया जाना चाहिए।

2. सब्सट्रेट की सतह पानी या लार से छिड़काई जाती है। ऑपरेटर मास्क पहनना चाहिए।

गरीब आसंजन

1. चढ़ाना भागों के खराब degreasing। प्री-चढ़ाना उपचार को मजबूत किया जाना चाहिए।

2. वैक्यूम कक्ष साफ नहीं है। वैक्यूम कक्ष साफ किया जाना चाहिए। कृपया ध्यान दें कि लक्ष्य लोड करने और उतारने की प्रक्रिया के दौरान, हाथों या अन्य अशुद्ध वस्तु का उपयोग करने के लिए सख्ती से प्रतिबंधित है चुंबक स्रोत को छूना है।

3. स्थिरता साफ नहीं है। स्थिरता साफ किया जाना चाहिए।

4. स्पटरिंग प्रक्रिया की स्थिति का अनुचित नियंत्रण। कृपया स्पटरिंग प्रक्रिया की स्थिति में सुधार करें।