डीसी पूर्वाग्रह और पल्स पूर्वाग्रह की तुलना

डीसी पूर्वाग्रह और पल्स पूर्वाग्रह की तुलना

पारंपरिक आर्क आयन चढ़ाना आयन बमबारी ऊर्जा को नियंत्रित करने के लिए सब्सट्रेट पर डीसी नकारात्मक पूर्वाग्रह लागू करना है। इस जमाव प्रक्रिया के निम्नलिखित नुकसान हैं: 1. सब्सट्रेट का उच्च तापमान कम तापमान वाले सब्सट्रेट पर कठोर फिल्म जमा करने के लिए अनुकूल नहीं है। 2. 3. उच्च ऊर्जा आयन बमबारी गंभीर स्पटरिंग का कारण बनती है, और उच्च प्रतिक्रिया सीमा ऊर्जा वाली कठोर फिल्मों को केवल आयन बमबारी ऊर्जा को बढ़ाकर संश्लेषित नहीं किया जा सकता है। 4. डीसी बायस आर्क आयन चढ़ाना प्रक्रिया में, सब्सट्रेट सतह पर सकारात्मक आयनों की निरंतर बमबारी के कारण होने वाले अत्यधिक सब्सट्रेट तापमान को नियंत्रित करने के लिए, जमाव शक्ति को कम करने, जमाव समय को छोटा करने और आंतरायिक जमाव विधियों को अपनाने जैसे उपाय मुख्य रूप से अपनाए जाते हैं। जमाव तापमान को कम करने के लिए. इन उपायों को ऊर्जा नियंत्रण विधियों के रूप में संक्षेपित किया जा सकता है। यद्यपि यह विधि जमाव तापमान को कम कर सकती है, यह फिल्म के कुछ गुणों को भी कम कर देती है और उत्पादन क्षमता और फिल्म की गुणवत्ता की स्थिरता को भी कम कर देती है, इसलिए अनुप्रयोग को बढ़ावा देना मुश्किल है। स्पंदित बायस आर्क आयन चढ़ाना प्रक्रिया में, क्योंकि आयनों को एक गैर-निरंतर पल्स मोड में सब्सट्रेट सतह द्वारा बमबारी की जाती है, सब्सट्रेट और सतह के बीच तापमान ढाल को पल्स बायस के कर्तव्य चक्र को समायोजित करके बदला जा सकता है, और फिर जमाव तापमान को विनियमित करने के उद्देश्य को प्राप्त करने के लिए सब्सट्रेट और सतह के बीच ताप समकारी मुआवजा प्रभाव को बदला जा सकता है। इस तरह, पक्षपाती पल्स की ऊंचाई को वर्कपीस के तापमान से स्वतंत्र रूप से अलग किया जा सकता है (एक दूसरे को प्रभावित नहीं करते हैं या थोड़ा प्रभाव डालते हैं), और उच्च वोल्टेज पल्स का उपयोग सुधार के लिए उच्च ऊर्जा आयनों के बमबारी प्रभाव को प्राप्त करने के लिए किया जा सकता है। फिल्म का संगठन और प्रदर्शन, और जमाव तापमान को कम करने के लिए कर्तव्य चक्र को कम करके आयन बमबारी के कुल ताप प्रभाव को कम किया जा सकता है।

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