मैग्नेट्रोन स्पटरिंग में फिल्मों की जमाव दरें

मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग में फिल्मों की जमाव दर आमतौर पर उच्च होती है, जो लक्ष्य के प्रकार, सब्सट्रेट तापमान और दबाव के आधार पर कुछ नैनोमीटर प्रति सेकंड से लेकर कुछ माइक्रोमीटर प्रति घंटे तक होती है। कक्ष में शक्ति घनत्व और गैस के दबाव को समायोजित करके जमाव दर को नियंत्रित किया जा सकता है।

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