वैक्यूम कोटिंग मशीन की विस्तृत संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन की विस्तृत संरचना

वैक्यूम स्थितियों के उत्पादन में उच्च वैक्यूम कोटिंग मशीन, कोटिंग मशीन सबसे व्यापक रूप से उपयोग किया जाने वाला उपकरण है। इसके संबंधित घटक: यांत्रिक पंप, बूस्टर पंप, तेल प्रसार पंप, संघनक पंप, वैक्यूम माप प्रणाली।

निम्नलिखित मैं प्रत्येक भाग की रचना और कार्य सिद्धांत को विस्तार से प्रस्तुत करता हूं।

1. वैक्यूम मुख्य शरीर - वैक्यूम चेंबर

प्रसंस्करण उत्पादों की विभिन्न आवश्यकताओं के अनुसार, वैक्यूम गुहा का आकार समान नहीं है, वर्तमान में सबसे अधिक उपयोग किया जाता है 1.3M, 0.9M, 1.5M, 1.8M, आदि, स्टेनलेस स्टील सामग्री से बना गुहा, जंग नहीं, ठोस, आदि, वैक्यूम गुहा के प्रत्येक भाग में एक कनेक्शन वाल्व होता है, जिसका उपयोग पंप को जोड़ने के लिए किया जाता है।

2. सहायक पंप प्रणाली

निकास प्रणाली "डिफ्यूजन पंप + मैकेनिकल पंप + रूट्स पंप + कम तापमान कोल्ड ट्रैप + पॉलीकोल्ड" से बना है

निकास प्रवाह निम्नानुसार है: यांत्रिक पंप पहले वैक्यूम चैम्बर को 2.0 * 10-2pa से कम के कम वैक्यूम राज्य में पंप करता है, जो वैक्यूम पंप करने के लिए प्रसार पंप के लिए आधार प्रदान करता है। बाद में, जब प्रसार पंप निर्वात कक्ष को पंप करता है, तो यांत्रिक पंप और तेल प्रसार पंप इस तरह से पंपिंग क्रिया को पूरा करने के लिए एक श्रृंखला बनाते हैं।

निकास प्रणाली कोटिंग मशीन के निर्वात प्रणाली का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है। यह मुख्य रूप से मैकेनिकल पंप, बूस्टर पंप (मुख्य रूप से शुरू की गई जड़ें पंप) और तेल प्रसार पंप से बना है।

मैकेनिकल पंप: फ्रंट स्टेज पंप के रूप में भी जाना जाता है, मैकेनिकल पंप सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किए जाने वाले कम वैक्यूम पंप में से एक है, यह सीलिंग प्रभाव को बनाए रखने के लिए तेल है और पंप में सक्शन गुहा की मात्रा को लगातार बदलने के लिए यांत्रिक तरीकों पर निर्भर करता है, इतना है कि पंप कंटेनर में गैस की मात्रा लगातार वैक्यूम प्राप्त करने के लिए विस्तार कर रही है।

कई प्रकार के यांत्रिक पंप हैं, आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले फिसलने वाले वाल्व प्रकार (यह मुख्य रूप से बड़े उपकरणों में उपयोग किया जाता है), पिस्टन पारस्परिक, फिक्स्ड और रोटरी ब्लेड प्रकार (यह वर्तमान में सबसे व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, मुख्य रूप से पेश किया गया यह पेपर) चार प्रकार हैं।

मैकेनिकल पंप का उपयोग अक्सर शुष्क हवा को हटाने के लिए किया जाता है, लेकिन ऑक्सीजन की मात्रा को हटाने के लिए बहुत अधिक नहीं होता है, विस्फोटक और संक्षारक गैस, यांत्रिक पंप का उपयोग आमतौर पर स्थायी गैस को निकालने के लिए किया जाता है, लेकिन पानी की गैस पर कोई अच्छा प्रभाव नहीं होता है, इसलिए इसे पानी नहीं निकाला जा सकता है गैस। रोटरी वेन पंप, स्टेटर, रोटर, शार्पलाइन आदि के हिस्सों में एक प्रमुख भूमिका निभाता है, स्टेटर में रोटर लेकिन स्टेटर मैंडल्स से अलग, जैसे दो खुदे हुए वृत्त, रोटर नाली के दो टुकड़े, छर्रे के दो टुकड़े, छर्रे के दो टुकड़े। बीच में एक वसंत के साथ, यह सुनिश्चित करने के लिए कि छर्रे कसकर स्टेटर दीवार का पालन करते हैं।

इसकी दो छर्रे बारी-बारी से दो भूमिकाएँ निभाते हैं, एक तरफ हवा के सेवन से गैस में, दूसरी तरफ गैस, गैस डिस्चार्ज पंप में संकुचित हो गए हैं। रोटर के प्रत्येक रोटेशन, पंप ने दो सक्शन और दो निकास को पूरा किया। जब पंप लगातार दक्षिणावर्त घूमता है, रोटरी फलक पंप हवा का सेवन इंटेक गैस के माध्यम से, और पंप के बाहर निकास निकास से लगातार होता है, कंटेनर पंपिंग के उद्देश्य को प्राप्त करने के लिए। सीमित वैक्यूम पंप को बेहतर बनाने के लिए, पंप स्टेटर तेल में भिगोया जाता है, और हर जगह हानिकारक स्थान की निकासी में अक्सर पर्याप्त तेल अंदर रखा जाता है, अंतराल को भरें, इसलिए एक तरफ तेल स्नेहन, दूसरी तरफ और सील करें प्लग अंतराल और अंतरिक्ष के हानिकारक प्रभाव, गैस के अणु को विभिन्न चैनलों के माध्यम से अंतरिक्ष के कम दबाव में रिवर्स प्रवाह को रोकते हैं।

मैकेनिकल पंप वायुमंडल के काम से शुरू होता है, इसके मुख्य पैरामीटर में सीमा वैक्यूम, पंपिंग दर है, यह डिजाइन के लिए और यांत्रिक पंप का चयन करता है महत्वपूर्ण आधार। एकल चरण पंप वायुमंडल से कंटेनर को 1.0 * 10-1pa की सीमा वैक्यूम तक पंप कर सकता है, डबल चरण यांत्रिक पंप वायुमंडल से कंटेनर को 6.7 * 10-2 प्रति, या इससे भी अधिक तक पंप कर सकता है।

निष्कर्षण दर से तात्पर्य उस गैस की मात्रा से है जिसे प्रति इकाई समय में डिस्चार्ज किया जा सकता है जब रोटरी फलक पंप क्रांतियों की रेटेड संख्या के अनुसार संचालित होता है, जिसकी गणना निम्न सूत्र द्वारा की जा सकती है

Sth = 2nVs = 2nfsL

एफएस प्रेरणा के अंत में अंतरिक्ष-समय गुहा के अनुभागीय क्षेत्र के लिए खड़ा है, एल गुहा की लंबाई के लिए खड़ा है, रोटर की निकास प्रक्रिया के लिए गुणांक खड़ा है हर रोटेशन चक्र में दो बार, बनाम प्रेरणा की समाप्ति के लिए खड़ा है जब रोटर क्षैतिज स्थिति में है, अंतरिक्ष-समय गुहा में वॉल्यूम सबसे बड़ा है, और रोटेशन की गति n है।

मोटर की गति के साथ यांत्रिक पंप निकास का प्रभाव और बेल्ट का ढीलापन का संबंध होता है, जब मोटर का बेल्ट ढीला होता है, मोटर की गति धीमी होती है, यांत्रिक पंप निकास प्रभाव बदतर हो जाएगा, इसलिए अक्सर बनाए रखने के लिए, टैली , भी अक्सर यांत्रिक पंप तेल सील की जांच करने की जरूरत है, तेल बहुत कम है, सील प्रभाव को पूरा नहीं कर सकता, पंप रिसाव के अंदर, तेल बहुत, चूषण छेद प्लग, प्रेरणा और निकास, आम तौर पर, तेल स्तर में 0.5 सेमी में ऑफ़लाइन।

टर्बो पंप / रूट्स पंप: इसमें सिंक्रोनस हाई-स्पीड रोटेटिंग डबल लीफ शेप या लॉब्ड रोटर मैकेनिकल पंप की एक जोड़ी होनी चाहिए, क्योंकि यह जड़ों के ब्लोअर के समान काम करता है, इसलिए जड़ों को वैक्यूम पंप, पंप को पंप भी कह सकते हैं। 100-1 mpa दबाव निष्कर्षण गति की सीमा, यह इस दायरे में यांत्रिक पंप निकास क्षमता अपर्याप्त कमियों के लिए बनाता है, पंप वातावरण से काम शुरू नहीं कर सकता है, वातावरण का कोई प्रत्यक्ष निर्वहन नहीं है, इसकी भूमिका केवल इनलेट और आउटलेट के बीच अंतर दबाव में वृद्धि, बाकी यांत्रिक पंप को पूरा करने की आवश्यकता है, इसलिए, इसे बैकिंग पंप के रूप में यांत्रिक पंप के साथ मेल खाना चाहिए।

प्रक्रिया के उपयोग में यांत्रिक पंप, निम्नलिखित मुद्दों पर ध्यान देना चाहिए:

1, एक साफ और सूखी जगह पर यांत्रिक पंप स्थापित किया जाना है।

2, पंप ही साफ और शुष्क रखने के लिए, पंप तेल एक सील और स्नेहन है, तो निर्दिष्ट राशि के अनुसार जोड़ा जाना है।

3, नियमित रूप से पंप तेल को बदलने के लिए, प्रतिस्थापन को अपशिष्ट तेल से पहले छुट्टी देनी चाहिए, एक बार बदलने के लिए कम से कम तीन महीने से छह महीने तक चक्र।

4. निर्देशों के अनुसार तारों को कनेक्ट करें।

5, यांत्रिक पंप बंद करने से पहले सेवन वाल्व बंद करने के लिए काम करते हैं, फिर बिजली की विफलता और इनलेट के माध्यम से पंप में हवा वाल्व, हवा को खोलें।

6, पंप के काम के दौरान, तेल का तापमान 75 डिग्री सेल्सियस से अधिक नहीं हो सकता है, अन्यथा तेल की चिपचिपाहट बहुत कम है और लैक्स सील को जन्म देती है।

7, या यांत्रिक पंप बेल्ट की जकड़न, मोटर गति, जड़ों पंप मोटर की गति, और अंगूठी सील प्रभाव की जाँच करें।

तेल प्रसार पंप: यांत्रिक पंप की सीमा वैक्यूम केवल 10-2 पा है, जब 10-1 पा पर पहुंचते हैं, तो वास्तविक पंपिंग गति सिद्धांत का केवल 1/10 है, यदि आप उच्च वैक्यूम प्राप्त करना चाहते हैं, तो आपको तेल प्रसार का उपयोग करना चाहिए पंप।

चूंकि तेल प्रसार पंप उच्च वैक्यूम प्राप्त करने के लिए उपयोग किया जाने वाला पहला पंप है, यह सस्ता, बनाए रखने में आसान और व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, इसलिए यह पेपर चर्चा में केंद्रित होगा।

तेल प्रसार पंप आवेदन दबाव रेंज 10-1 -10-7 पा है, यह निकास करने के लिए गैस प्रसार घटना का उपयोग है, यह एक सरल संरचना, संचालित करने के लिए आसान है, पंप गति बड़ी है (उच्चतम 10 + 5 एल तक पहुंच सकता है / एस) और अन्य विशेषताओं। तेल प्रसार पंप मुख्य रूप से पंप शेल, नोजल, डायवर्शन पाइप और हीटर से बना होता है। तेल प्रसार पंप (जापान में d-704 #) मुख्य रूप से अंदर जोड़ा जाता है। नोजल की संख्या के अनुसार, इसे सिंगल-स्टेज पंप और मल्टी-स्टेज पंप में विभाजित किया जा सकता है।

प्रसार पंप के तल पर प्रसार पंप के तेल संग्रहीत किया जाता है। ऊपरी हिस्सा एयर इनलेट है, और दाईं ओर निचला हिस्सा एयर आउटलेट है। ऑपरेशन के दौरान, एयर आउटलेट को मैकेनिकल पंप द्वारा प्रीपोजेशन दबाव, और पंप पंप के रूप में मैकेनिकल पंप एसीटीएस के साथ प्रदान किया जाता है।

जब विसरण पंप का तेल विद्युत भट्टी द्वारा गर्म किया जाता है, तो उत्पादित तेल वाष्प प्री-लोडिंग दबाव प्रदान करता है, और मैकेनिकल पंप एसीटीएस प्री-लोडिंग पंप के रूप में। जब विसरण पंप तेल विद्युत भट्टी द्वारा गरम किया जाता है, तो तेल वाष्प को छतरी नोजल के माध्यम से पाइप के नीचे उत्सर्जित किया जाता है। क्योंकि नोजल के बाहर यांत्रिक पंप द्वारा प्रदान किया गया एक 1-10-1 प्रति वैक्यूम है, तेल वाष्प को एक निश्चित दूरी के लिए बाहर निकाला जा सकता है, जिससे हवा के आउटलेट की दिशा में एक जेट प्रवाह होता है। अंत में, जेट पंप की दीवार को ठंडा पानी से ठंडा किया जाता है, तरल में संघनित होता है और वाष्पीकरण के लिए वापस प्रवाहित होता है, अर्थात, वाष्पीकरण, जेट, संघनित होता है और वायु निष्कर्षण का एहसास करने के लिए बार-बार घूमता है।

पंप में हवा के इनलेट में गैस के अणुओं द्वारा, एक बार भाप प्रवाह में गिर जाने के बाद, नीचे गति की गति बढ़ जाती है, क्योंकि उच्च वेग (200 मीटर / सेकंड) के साथ जेट, भाप का उच्च घनत्व, और उच्च आणविक भार (300-500) के साथ प्रसार पंप तेल, यह प्रभावी रूप से गैस अणुओं को ले सकता है, इसलिए जेट के इंटरफेस के भीतर, गैस अणुओं को लंबे समय तक नहीं फँसाया जा सकता है, और इंटरफ़ेस के दोनों तरफ जेट प्रवाह होता है , धुआं गैस की सघनता बहुत खराब है, सिर्फ इसलिए कि इस सांद्रता अंतर के कारण धुएं के प्रवाह में क्रियाकलाप के अंतर को जेट में फैलाया जाता है, बाहर निकलने के लिए और यांत्रिक पंप द्वारा बाहर निकलने पर लिया जाता है।

प्रसार पंप का तेल वाष्प दबाव पंप के अंतिम वैक्यूम को निर्धारित करने के लिए एक महत्वपूर्ण कारक है।

अकेले पंप के लिए डिफ्यूजन पंप का उपयोग नहीं किया जा सकता है, पंप के अधिकतम आउटलेट दबाव की सामान्य आवश्यकताएं 40 पाएं हैं। प्रसार पंप पंपिंग जीत नोजल के पहले स्तर और इनलेट व्यास के पंप शरीर के लिए निर्धारित है, पंपिंग गति के बीच परिपत्र क्षेत्र का आकार एक निरंतर मूल्य नहीं है, लेकिन हवा इनलेट दबाव के साथ भिन्न होता है, जब 2 10/10 में दबाव -10-3, प्रसार पंप सक्शन गति सबसे तेज है, जब दबाव 5 * 10-4 mpa से कम है, प्रसार पंप चूषण गति न्यूनतम, लगभग कोई चूषण क्षमता (इस बिंदु पर, इनलेट दबाव अधिक है, इसकी वजह से हवा का उच्च घनत्व, हवा के प्रसार को अवरुद्ध करने के लिए स्टीम मैनिफोल्ड एक उच्च गति जेट बन जाता है, इसलिए पंपिंग गति को कम कर देता है)।

प्रसार पंप को स्थापना से पहले साफ किया जाना चाहिए, और फिर प्रसार तेल लोड किया जा सकता है। तेल के गर्म होने से पहले, पंप को पहले वैक्यूम किया जाना चाहिए, और मशीन बंद होने से पहले प्रसार पंप तेल को 60 ~ 70 डिग्री सेल्सियस तक ठंडा किया जाना चाहिए। फिर सामने के चरण की निकास गैस को बंद किया जा सकता है, और अंत में ठंडा पानी को बंद किया जा सकता है।

क्योंकि तेल प्रसार पंप तेल के मौके को वापस लाने में असमर्थ है, इसलिए 100% शुद्ध, विशेष रूप से अर्धचालक उद्योग में, सटीक उत्पादों की गारंटी देने का कोई तरीका नहीं है, इसलिए "उच्च वैक्यूम कंडेनसेट पंप + कम वैक्यूम मैकेनिकल पंप" है तेल मुक्त वैक्यूम प्रणाली, संघनक पंप निकास प्रणाली से बना है, जो न केवल निकास दक्षता से बना है, बहुत अधिक है, और प्रभावी ढंग से वैक्यूम चैम्बर की सफाई की गारंटी देता है, उत्पाद की गुणवत्ता सुनिश्चित करता है (दूषित उत्पादों से बचने के लिए, कोटिंग के बीच आसंजन को बढ़ाता है) और सब्सट्रेट), लेकिन इसकी रखरखाव लागत बहुत अधिक है, महंगी है, इसलिए पैठ में व्यापक रूप से तेल प्रसार पंप नहीं है।

कम तापमान संघनक पंप: यह पंप का एक प्रकार है जो पंपिंग का एहसास करने के लिए कम तापमान की सतह पर गैस अणुओं को संघनित करता है।

संघनक पंप का कार्य सिद्धांत: यह मुख्य रूप से कम तापमान की सतह पर गैस के संघनन, कोल्ड ट्रैपिंग और भौतिक कम तापमान सोखना है।

क्रायोजेनिक संघनन: तरल हीलियम या प्रशीतन चक्र हीलियम का उपयोग विभिन्न गैसों की विशेषताओं के अनुसार ठंडा करने के लिए किया जाता है।

कोल्ड ट्रैपिंग: यह घटना है कि गैर संघनित गैस संघनित गैस द्वारा फँसी हुई है। आमतौर पर, कार्बन डाइऑक्साइड, जल वाष्प, नाइट्रोजन और संपीड़ित गैस जैसी गैसें पहले ठंढ का निर्माण करती हैं और फिर कम तापमान की सतह पर एक सोखना परत का निर्माण करती हैं, ताकि अन्य गैसों के सोखने के उद्देश्य को प्राप्त किया जा सके। यही कारण है कि मिश्रित गैस निकालने में क्रायोजेनिक पंप का प्रभाव एकल गैस की तुलना में बेहतर है।

निम्न तापमान सोखना: निम्न तापमान की सतह पर सोखना द्वारा गैस के सोखने को संदर्भित करता है। Adsorbent और गैस अणुओं के बीच मजबूत बातचीत के कारण, वाष्प का दबाव संक्षेपण की सतह के तापमान पर संतृप्ति वाष्प दबाव से कम हो सकता है। Adsorbent आमतौर पर सक्रिय कार्बन है।

संघनक पंप की पंपिंग दर और संघनक पंप को प्रभावित करने वाले पंपिंग दर संघनक सतह क्षेत्र के आकार से संबंधित हैं। आंकड़ों के अनुसार, संघनन सतह क्षेत्र की प्रति इकाई पंपिंग दर 11.6 l / s है। इसके अलावा, सोखना सतह ज्यामिति और सक्रिय कार्बन का स्थान, सक्रिय कार्बन कण संरचना, संबंध सामग्री और संबंध प्रक्रिया पंपिंग गति पर बहुत प्रभाव डालती है। दूसरे, कुंजी रेफ्रिजरेटर की रेफ्रिजरेटिंग क्षमता है जो काफी बड़ी है ।

वैक्यूम गेज: वैक्यूम गेज वैक्यूम कोटिंग मशीन का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, यह कोटिंग मशीन के वैक्यूम डिग्री के परीक्षण का एक महत्वपूर्ण साधन है। वैक्यूम गेज को इसके कार्य सिद्धांत के अनुसार निरपेक्ष वैक्यूम गेज और सापेक्ष वैक्यूम गेज में विभाजित किया जा सकता है। निरपेक्ष वैक्यूम गेज सीधे दबाव स्तर को माप सकता है, जबकि सापेक्ष वैक्यूम गेज केवल अप्रत्यक्ष रूप से वैक्यूम डिग्री को माप सकता है।

यह पेपर मुख्य रूप से कोटिंग मशीन में आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले निम्न वैक्यूम गेज का परिचय देता है:

प्रतिरोध वैक्यूम गेज (जिसे पिरानी वैक्यूम गेज के रूप में भी जाना जाता है):

यह मुख्य रूप से इलेक्ट्रिक हीटिंग तार, शेल और ब्रैकेट से बना है, मुख्य रूप से कम दबाव के आधार पर, गैस की तापीय चालकता काम करने के तरीके के दबाव के लिए आनुपातिक है। उपरोक्त उद्घाटन परीक्षण के तहत वैक्यूम सिस्टम के साथ जुड़ा हुआ है। गर्म तार उच्च तापमान गुणांक प्रतिरोध के साथ धातु के तार से बना है। दो समर्थन सुराग मापने की रेखा के साथ जुड़े हुए हैं। जब दबाव कम हो जाता है, तो गैस गर्मी चालन के माध्यम से खो जाने वाली गर्मी कम हो जाती है। इसलिए, जब गर्म तार का ताप प्रवाह स्थिर होता है, तो गर्म तार का तापमान बढ़ जाता है और गर्म तार का प्रतिरोध बढ़ जाता है। दबाव को अप्रत्यक्ष रूप से गर्म तार के प्रतिरोध को मापने के द्वारा मापा जाता है।

यह प्रतिरोध वैक्यूम गेज का कार्य सिद्धांत है, वैक्यूम गेज मापने की सीमा है: 100-10-1 mpa के बीच, वर्तमान में उपयोग किया जाने वाला WP - 02 मॉडल है ।

चुंबकीय नियंत्रित डिस्चार्ज वैक्यूम गेज:

यह कैसे काम करता है: डिस्चार्ज की शुरुआत में, अंतरिक्ष के कारण, ऑर्थोगोनल इलेक्ट्रोमैग्नेटिक क्षेत्र के प्रभाव के तहत एनोड मूवमेंट से मुक्त इलेक्ट्रॉनों, इलेक्ट्रॉन प्रक्षेपवक्र सीधी रेखा नहीं बल्कि सर्पिल है, और क्योंकि एनोड फ्रेम है, इसलिए इलेक्ट्रॉनिक पहली बार एनोड के लिए नहीं मिला, लेकिन एनोड के माध्यम से, और कैथोड द्वारा अस्वीकृति, और वापसी के बाद। यह एनोड पर कई बार दोहराया जा सकता है। जैसे-जैसे इलेक्ट्रॉन पथ बहुत लंबा हो जाता है, अणुओं के टकराने और आयनीकरण की संख्या बढ़ जाती है, जिससे कि डिस्चार्ज (जिसे पेनिंग डिस्चार्ज भी कहा जाता है) अपेक्षाकृत कम दबाव (10-4 पा के नीचे) पर बना रहता है।

वर्तमान में, अधिक मॉडलों में PKR251 और gi-pary शामिल हैं।

डिस्चार्ज ट्यूब वैक्यूम गेज: ग्लास ट्यूब में दो धातु इलेक्ट्रोड सील किए जाते हैं, और कई हजार वोल्ट का एक उच्च डीसी वोल्टेज इसके साथ जोड़ा जाता है। स्व-निरंतर निर्वहन एक निश्चित दबाव सीमा (1 * 10-3 ~ 2 * 10 ब्रैकेट) के कारण हो सकता है। वैक्यूम डिग्री को डिस्चार्ज कलर द्वारा निर्धारित किया जा सकता है।

अब तक इस तरह के वैक्यूम गेज का उपयोग शायद ही कभी किया गया है क्योंकि इसकी बड़ी त्रुटि, आसान क्षति और अल्प जीवन है।

3. वाष्पीकरण प्रणाली

वाष्पीकरण प्रणाली मुख्य रूप से फिल्म बनाने वाली डिवाइस को संदर्भित करती है। कोटिंग मशीन में प्रतिरोध हीटिंग, इलेक्ट्रॉन गन वाष्पीकरण, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग, आरएफ स्पटरिंग, आयन चढ़ाना आदि सहित कई फिल्म बनाने वाले उपकरण हैं। मैं प्रतिरोध हीटिंग और इलेक्ट्रॉन गन वाष्पीकरण के दो तरीकों का परिचय दूंगा, क्योंकि मैं इन दो तरीकों को शामिल करता हूं। अधिक।

इसकी संरचना और कार्य सिद्धांत के अनुसार, प्रतिरोध वाष्पीकरण अब तक सबसे व्यापक रूप से उपयोग की जाने वाली वाष्पीकरण विधि है और सबसे लंबे समय तक आवेदन समय के साथ भी है। जिस तरह से यह काम करता है वह एक जहाज के रूप में टंगस्टन है, और फिर दो इलेक्ट्रोड के बीच में, जड़ी बूटियों के साथ टंगस्टन नाव के बीच में, फिर से धीरे-धीरे इलेक्ट्रोड चालू करने के लिए, टंगस्टन के माध्यम से विद्युत प्रवाह, टंगस्टन नाव इलेक्ट्रिक हीटिंग, कम वोल्टेज, उच्च धारा टंगस्टन नाव बनाने के लिए गर्मी, उच्च पिघलने बिंदु और कोटिंग सामग्री के लिए गर्मी हस्तांतरण, जब टंगस्टन नाव की गर्मी की मात्रा कोटिंग सामग्री, सामग्री उच्च बनाने की क्रिया या वाष्पीकरण के पिघलने बिंदु से अधिक है, इस विधि क्योंकि आसान संचालन, सरल संरचना, कम लागत, इसलिए बहुत सारे उपकरणों का उपयोग किया जाता है, लेकिन कम घनत्व के कारण पतली फिल्म का वाष्पीकरण, साथ ही बहुत सारी सामग्री इस तरह से वाष्पीकरण का उपयोग नहीं कर सकती है, इसलिए इसकी कुछ सीमाएं हैं। टंगस्टन नाव वाष्पीकरण कोटिंग सामग्री, सामग्री पिघलने बिंदु टंगस्टन नाव के पिघलने बिंदु से कम होना चाहिए, अन्यथा बाहर ले जाने का कोई तरीका नहीं है।

इलेक्ट्रॉन गन वाष्पीकरण अब तक की सबसे व्यापक रूप से उपयोग की जाने वाली वाष्पीकरण विधि है। यह किसी भी प्रकार की कोटिंग सामग्री को वाष्पित कर सकता है। इसका कार्य विधा है: क्रूसिबल में कोटिंग सामग्री, एक फिलामेंट आकार में वाष्पीकरण स्रोत, एक विशेष नियंत्रण कैबिनेट का उपयोग करके, एक मजबूत वर्तमान, उच्च वोल्टेज के साथ फिलामेंट, सामग्री के कारण टंगस्टन फिलामेंट है, इसलिए यह गर्म होगा, में अंत इलेक्ट्रॉनिक लॉन्च करेगा, और एक निश्चित चुंबकीय क्षेत्र को गोद लेना एक निश्चित आकार में इकट्ठा किया जाएगा, और क्रूसिबल पर ड्राइंग, इस प्रकार एक बीम का गठन किया, इलेक्ट्रॉन तापमान बहुत अधिक होने के कारण, किसी भी कोटिंग सामग्री को पिघला सकता है, कोटिंग सामग्री के रूप में इलेक्ट्रान बीम के पिघलने के बाद (कुछ सामग्री सीधे उदात्त होती है), अणुओं की औषधीय जड़ी बूटियों (परमाणुओं या आयनों) को निर्वात गति में एक वैक्यूम में, फिर बेस बोर्ड से मिलता है, और फिर संघनित होता है, विकास के इस तरीके के बाद, एक फिल्म का निर्माण करता है ! सबसे अधिक इस्तेमाल किया जाने वाला इलेक्ट्रॉन बीम का विक्षेपण कोण 270 डिग्री या ई-इलेक्ट्रॉन इलेक्ट्रॉन के साथ ई-इलेक्ट्रॉन इलेक्ट्रॉन 180 डिग्री के प्रक्षेपवक्र और प्रक्षेपवक्र के साथ सी-प्रकार इलेक्ट्रॉन बंदूक के साथ बना रहे हैं। सी के।

इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण का सबसे बड़ा लाभ यह है: इलेक्ट्रॉन बीम का स्थान इच्छानुसार समायोजित किया जा सकता है, फिलामेंट को छिपाया जा सकता है, प्रदूषण से बचा जा सकता है, किसी भी कोटिंग सामग्री को वाष्पित किया जा सकता है, आसान रखरखाव, वाष्पीकरण की गति को नियंत्रित किया जा सकता है, छोटी सामग्री विघटन , उच्च फिल्म घनत्व। अच्छा यांत्रिक शक्ति ।

स्पटरिंग विधि उच्च गति के सकारात्मक आयनों के साथ लक्ष्य सामग्री की सतह पर बमबारी करना है। गतिज ऊर्जा संचरण के माध्यम से, लक्ष्य सामग्री की अणुओं (परमाणुओं) में लक्ष्य सामग्री की सतह से भागने के लिए पर्याप्त ऊर्जा होती है, और फिर फिल्म बनाने के लिए उत्पाद की सतह पर जमा होती है।

स्पटरिंग विधि द्वारा जमा की गई फिल्म में मजबूत आसंजन और उच्च शुद्धता होती है, और एक ही समय में विभिन्न सामग्रियों की स्पटरिंग हो सकती है। हालांकि, इसमें लक्ष्य सामग्री के लिए उच्च आवश्यकताएं हैं और इलेक्ट्रॉन बंदूक जैसे संसाधनों को नहीं बचा सकता है।

वर्तमान में, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग सबसे अधिक इस्तेमाल की जाने वाली विधि है। मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कैथोड सतह के समानांतर एक बढ़ाया विद्युत क्षेत्र लागू करने के लिए है, और आयनीकरण दक्षता में सुधार करने के लिए कैथोड लक्ष्य सतह के पास इलेक्ट्रॉनों को रोकना है। यह सबसे सरल प्रकार का ऑपरेशन है, इसलिए इसका व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

4. फिल्म बनाने की नियंत्रण प्रणाली

वर्तमान में, फिल्म की निगरानी के कई तरीके हैं, जैसे दृश्य निगरानी, निश्चित मूल्य की निगरानी, क्रिस्टल दोलन की निगरानी, समय की निगरानी और इतने पर। मैं मुख्य रूप से विज़ुअल मॉनिटरिंग, फिक्स्ड (एक्सट्रीम) मॉनिटरिंग और क्रिस्टल ऑसिलेशन मॉनिटरिंग तीन का परिचय देता हूं।

दृश्य निगरानी, जिसे प्रत्यक्ष निगरानी के रूप में भी जाना जाता है, आंखों की निगरानी का उपयोग है, क्योंकि वृद्धि की प्रक्रिया में फिल्म, हस्तक्षेप की घटना के कारण रंग परिवर्तन होंगे, हम फिल्म की मोटाई को नियंत्रित करने के लिए रंग परिवर्तन पर आधारित हैं, यह विधि में एक निश्चित त्रुटि है, इसलिए यह बहुत सटीक नहीं है, हमें अनुभव पर भरोसा करने की आवश्यकता है।

निश्चित मूल्य (चरम मूल्य) की निगरानी: मुख्य रूप से प्रतिबिंब प्रकार (ऑप्टिकल प्रकार के माध्यम से) ऑप्टिकल निगरानी का उपयोग करता है। एक्सट्रीम वैल्यू मॉनिटरिंग मेथड: जब फिल्म की मोटाई बढ़ती है, तो इसकी परावर्तन और प्रवेश दर परिवर्तन का अनुसरण करेगी, जब परावर्तन या प्रवेश दर चरम बिंदु तक जाती है, तो हम जान सकते हैं कि एनडी की कोटिंग ऑप्टिकल मोटाई निगरानी तरंगदैर्ध्य का एक चौथाई है ( में) पूर्णांक बार। हालांकि, चरम मूल्य विधि की त्रुटि अपेक्षाकृत बड़ी है, क्योंकि जब परावर्तन या संप्रेषण चरम मूल्य के पास बहुत धीरे-धीरे बदलता है, अर्थात, फिल्म की मोटाई एनडी बहुत अधिक बढ़ जाती है, आर / टी बदल जाती है। अधिक संवेदनशील स्थिति तरंग दैर्ध्य के एक आठवें स्थान पर है।

फिक्स्ड वैल्यू मॉनिटरिंग विधि: यह विधि तरंग दैर्ध्य के क्वार्टर-वेव स्तर की निगरानी नहीं करने के लिए स्टॉप प्लेटिंग पॉइंट का उपयोग करती है, और फिर कंप्यूटर वेवलेंथ पर कुल फिल्म मोटाई के परावर्तन (या प्रवेश दर) की गणना करता है, जो स्टॉप कोटिंग है बिंदु।

क्रिस्टल दोलन निगरानी:

क्रिस्टल दोलन का कार्य सिद्धांत यह है कि क्वार्ट्ज क्रिस्टल की कंपन आवृत्ति इसके द्रव्यमान के विपरीत आनुपातिक है। हालांकि, क्वार्ट्ज मॉनिटरिंग का एक नुकसान यह है कि जब फिल्म की मोटाई एक निश्चित मोटाई तक बढ़ जाती है, तो कंपन आवृत्ति पूरी तरह से क्वार्ट्ज की विशेषताओं के कारण नहीं होती है, इसलिए मोटाई और आवृत्ति के बीच एक रैखिक संबंध होता है।

कई निगरानी विधियों के अपने फायदे और नुकसान हैं, लेकिन आमतौर पर बहु-परत कोटिंग, ऑप्टिकल निगरानी सहायक विधि के रूप में मुख्य, क्वार्ट्ज क्रिस्टल दोलन होगा।

इसके अलावा, कोटिंग प्रक्रिया में कुछ को गैस प्रवाह नियंत्रण मीटर या दबाव नियंत्रण मीटर से भरा जाना चाहिए, इनको नियंत्रित करने के लिए परिष्कृत वाल्व और फोटोइलेक्ट्रिक सेंसिंग सिस्टम का उपयोग करने की आवश्यकता होती है।

कोटिंग प्रक्रिया में भी रोटरी नियंत्रण प्रणाली की आवश्यकता होती है, असर में छाता के मुख्य शाफ्ट को डालना है, और फिर असर को चलाने के लिए मोटर का उपयोग करें, ताकि छाता रोटरी हो। फिर पीएलसी अपनी रोटरी गति को नियंत्रित करता है।

क्रूसिबल रोटेशन को इलेक्ट्रिक मोटर द्वारा संचालित किया जाता है, फोटोइलेक्ट्रिक इंडक्शन काउंटिंग विधि को अपनाया जाता है, और परिरक्षण प्लेट को वायवीय स्विच द्वारा घुमाया जाता है।

निष्कर्षण दर में तेजी लाने और एक निश्चित डिग्री प्राप्त करने के लिए, निर्वात कक्ष को भी प्रशीतित करने की आवश्यकता होती है, अर्थात, निर्वात कक्ष के अंदर की हवा -130 डिग्री सेल्सियस तक जमी होती है, और निर्वात कक्ष के अंदर पानी की हवा जमे हुए और बाहर पंप है।

पीएलसी स्वचालित नियंत्रण, लेख का विद्युत नियंत्रण हिस्सा अग्रिम में पीएलसी इनपुट डिजाइन कार्यक्रम में पहला है, ऑपरेशन पैनल पर खाली सिस्टम से जुड़ा प्रोसेसर मुख्य सर्किट, जब ऑपरेशन पैनल पर स्विच दबाते हैं, तो केंद्रीय को सूचना संचरण प्रसंस्करण इकाई (सीपीयू), और फिर केंद्रीय नियंत्रण प्रणाली विश्लेषण और शाखा द्वारा निर्देशों को जारी करने और क्रियाओं को पूरा करने के लिए।

कोटिंग मशीन उपकरण का एक बहु-अनुशासन है, आईटी उद्योग की सबसे उन्नत यांत्रिक और इलेक्ट्रॉनिक प्रौद्योगिकी, नियंत्रण प्रौद्योगिकी, विद्युत स्वचालन, आईटी प्रौद्योगिकी, प्रशीतन प्रौद्योगिकी, माइक्रोकिरचिट एकीकृत प्रणाली, उच्च दबाव नियंत्रण प्रणाली, यांत्रिक प्रौद्योगिकी, प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी, फोटोइलेक्ट्रॉनिक प्रौद्योगिकी को एकीकृत करता है , ऑप्टिकल प्रौद्योगिकी, वायवीय नियंत्रण प्रौद्योगिकी, फोटोइलेक्ट्रिक सेंसर प्रौद्योगिकी, संचार प्रौद्योगिकी, वैक्यूम प्रौद्योगिकी, ऑप्टिकल फिल्म और कोटिंग प्रौद्योगिकी, और इतने पर।

यह कहा जा सकता है कि कोटिंग मशीन उद्योग का एक नया प्रतिनिधि है।

आज, कोटिंग मशीन का व्यापक रूप से उपयोग किया गया है, विशेष रूप से व्यापक रूप से फिल्म चढ़ाना, डिजिटल कैमरा, डिजिटल कैमरा, दूरबीन, प्रोजेक्टर, ऊर्जा नियंत्रण, ऑप्टिकल संचार जैसे फोटोइलेक्ट्रिक सिस्टम और ऑप्टिकल उपकरणों के लिए विभिन्न प्रकार की पतली फिल्म का उत्पादन लागू किया गया था। प्रदर्शन प्रौद्योगिकी, इंटरफेरोमीटर, उपग्रह मिसाइल, सेमीकंडक्टर लेजर, मेम, सूचना उद्योग, लेजर का उत्पादन, सभी प्रकार के फिल्टर, प्रकाश उद्योग, सेंसर, वास्तुशिल्प ग्लास, ऑटोमोटिव उद्योग, सजावट, COINS, चश्मा, आदि, कोटिंग मशीन है। मानव जीवन के साथ निकटता से जुड़ा हुआ।

एक आयातित कोटिंग मशीन की लागत आमतौर पर 3 मिलियन से 10 मिलियन आरएमबी तक पहुंचती है, और घरेलू उपकरणों की लागत लगभग 1 मिलियन आरएमबी है।

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