डीएलसी प्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (पीईसीवीडी)

डीएलसी प्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (पीईसीवीडी) गैस कार्बन स्रोतों के विभिन्न कार्बन युक्त तटस्थ या आयनिक समूहों (जैसे सीएच 3, सीएच 2, सीएच +, सी 2, आदि) और परमाणु (या आयनिक) हाइड्रोजन (एच) में अपघटन को संदर्भित करता है। , एच+) कम दबाव वाले प्लाज्मा डिस्चार्ज के माध्यम से, और कार्बन युक्त समूहों को सब्सट्रेट के नकारात्मक पूर्वाग्रह के तहत सब्सट्रेट सतह पर बमबारी और सोख लिया जाता है। साथ ही, परमाणु हाइड्रोजन संरचना में sp2 कार्बन को खोद सकता है, इस प्रकार sp2 और sp3 कार्बन संकर संरचनाओं के साथ हाइड्रोजनीकृत हीरे जैसी फिल्में बना सकता है। यह विधि कच्ची गैस की अपघटन दर में सुधार कर सकती है, जमाव तापमान को कम कर सकती है और जमाव मापदंडों को बदलकर वांछित गुणवत्ता वाली फिल्म प्राप्त कर सकती है।

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