टीए-सी आंतरिक तनाव पर धातु डोपिंग का प्रभाव (डोपित धातु प्रकार: Cu, Ti, Fe)

टा-सी आंतरिक तनाव पर धातु डोपिंग का प्रभाव (डोपित धातु प्रकार: Cu, Ti, Fe)

1, जब धातु की मात्रा कम होती है, तो कठोरता में कमी का अनुपात तनाव में कमी के अनुपात से कम होता है, जब डोपिंग की मात्रा बहुत छोटी होती है, तो घर्षण गुणांक मूल रूप से अपरिवर्तित होता है। 2, फिल्म की कठोरता के साथ डोप की गई धातु सामग्री के संबंध में परिवर्तन मूल रूप से एक ही है, इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि विभिन्न धातु तत्वों को डोपिंग करते हुए, कठोरता मूल्य बहुत करीब है।

Ar आयन की सहायता के बाद, सतह की खुरदरापन में काफी सुधार हुआ है, और Ra{{0}}.4nm तक पहुंच सकता है। Ar+ उपचार के बाद, फिल्म की सतह चिकनी और सपाट हो जाती है, और घर्षण गुणांक 0.14 से कम होकर 0.1 हो जाता है। टीए-सी कठोरता 5500Hv, लोचदार मापांक 430GPa, तनाव 2.1GPa, मोटाई 1.5μm; टा-सी फिल्म का जीवन लगभग 100 गुना बढ़ जाता है।

सिलिकॉन-डोप्ड डीएलसी के लिए सिलिकॉन स्रोत क्या है?
SiC में कम Si होता है

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