स्पटरिंग रेट को प्रभावित करने वाले कारक

स्पटरिंग दर को प्रभावित करने वाले कारक

1. घटना कणों के प्रकार
घटना के कण का द्रव्यमान जितना अधिक होता है, स्पटरिंग दर उतनी ही अधिक होती है

2. घटना आयन की ऊर्जा
घटना के कण की गति बढ़ने के बाद स्पार्किंग थ्रेशोल्ड बढ़ जाता है, क्योंकि घटना का कण बढ़ जाता है,
150eV से कम से पहले, स्पटरिंग दर घटना कण की ऊर्जा के वर्ग के लिए आनुपातिक है,
परिवर्तन 150-10 केव की सीमा के भीतर स्पष्ट नहीं है,
दुर्घटना की ऊर्जा में वृद्धि जारी है, स्पटरिंग दर में गिरावट का रुख दिखाई देगा

3. घटना का कोण
घटना कोण 0-60 ° है, और कोण के साथ स्पटरिंग दर बढ़ जाती है
यदि अधिकतम कोण बढ़ता रहता है, तो स्पटरिंग दर में तेजी से गिरावट आएगी
घटना कोण 90 ° है और स्पटरिंग दर 0 है

4. लक्ष्य सामग्री के प्रकार और संरचनाएं
आम तौर पर लक्ष्य की परमाणु संख्या में वृद्धि के साथ स्पटरिंग दर बढ़ जाती है ।

IKS PVD ing स्पूटरिंग वैक्यूम कोटिंग उपकरण, संपर्क: iks.pvd@foxmail.com