हॉट कैथोड आयोनाइजेशन वैक्यूम गेज की माप सीमा

Nov 22, 2023|

यद्यपि गर्म कैथोड आयनीकरण वैक्यूम गेज की माप सीमा {{0}~10-11mbar तक पहुंच सकती है, जब दबाव बहुत अधिक होता है, तो कण प्रवाह और दबाव के बीच संबंध रैखिक से भटक जाएगा और संतृप्ति की ओर बढ़ जाएगा। माप सीमा का विस्तार करने के लिए, पिरानी वैक्यूम गेज का उपयोग आमतौर पर पंप के शुरुआती बिंदु पर (अत्यधिक दबाव के मामले में) किया जाता है।

इसके अलावा, साधारण गर्म कैथोड आयनीकरण वैक्यूम मीटर की माप की निचली सीमा लगभग 10-6Pa परिमाण का क्रम है: जब गेट एनोड पर इलेक्ट्रॉनों की बमबारी होती है, तो नरम एक्स-रे उत्पन्न होते हैं, और जब आयन होता है तो फोटोइलेक्ट्रॉन उत्सर्जन होता है कलेक्टर को यह किरण प्राप्त होती है। चूँकि संग्राहक द्वारा उत्सर्जित फोटॉन उसके द्वारा एकत्र किए गए आयनों के बराबर होता है, आयन संग्राहक सर्किट में एक दबाव-स्वतंत्र पृष्ठभूमि फोटोकरंट बनता है, जिसे मापने पर लगभग 10-6Pa के दबाव रीडिंग द्वारा दर्शाया जाता है। पृष्ठभूमि फोटोकरंट के प्रभाव को खत्म करने और गर्म कैथोड आयनीकरण वैक्यूम गेज की माप सीमा का विस्तार करने के लिए, बीए आयनीकरण वैक्यूम गेज (माप सीमा 10-8Pa तक पहुंच सकती है), दमनात्मक वैक्यूम गेज (सैद्धांतिक रूप से {{6} तक पहुंच सकता है) }Pa), मॉड्यूलेटेड वैक्यूम गेज (10-10Pa), अलग किए गए वैक्यूम गेज (10-11Pa), और इसी तरह।

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