पीईसीवीडी-वायु दबाव

जब प्लाज्मा बनता है, तो गैस का दबाव बहुत बड़ा होता है, इकाई में प्रतिक्रिया गैस बढ़ जाती है, इसलिए दर बढ़ जाती है, लेकिन साथ ही, हवा का दबाव बहुत अधिक होता है, औसत मुक्त पथ कम हो जाता है, जो अनुकूल नहीं है कदम पर जमाव फिल्म का कवरेज। बहुत कम हवा का दबाव फिल्म के जमाव तंत्र को प्रभावित करेगा, जिसके परिणामस्वरूप फिल्म का घनत्व कम हो जाएगा और सुई दोष बनना आसान हो जाएगा। जब हवा का दबाव बहुत अधिक होता है, तो प्लाज्मा की पोलीमराइजेशन प्रतिक्रिया स्पष्ट रूप से बढ़ जाती है, जिसके परिणामस्वरूप विकास नेटवर्क की नियमितता में कमी आती है और दोषों में वृद्धि होती है।

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