पीईसीवीडी उपकरण सामान्य समस्याएं-कम जमाव दर
Jul 04, 2023| पीईसीवीडी उपकरण सामान्य समस्याएं-कम जमाव दर
(1) यदि आरएफ इनपुट पावर अनुपयुक्त है, तो आरएफ पावर समायोजित करें।
(2) यदि नमूना तापमान असामान्य है, तो जांचें कि ठंडा पानी का प्रवाह और तापमान सामान्य है या नहीं।
(3) वैक्यूम चैम्बर का दबाव कम है, प्रक्रिया गैस प्रवाह को समायोजित करें।
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