पीईसीवीडी-आरएफ बिजली आपूर्ति की ऑपरेटिंग आवृत्ति

आरएफ पीईसीवीडी आमतौर पर 50kHz ~ 13.56MHz आवृत्ति बैंड आरएफ बिजली की आपूर्ति को अपनाता है, जिसमें उच्च आवृत्ति, प्लाज्मा में आयनों का मजबूत बमबारी प्रभाव, अधिक घनी जमा फिल्म होती है, लेकिन सब्सट्रेट को नुकसान भी अपेक्षाकृत बड़ा होता है। उच्च आवृत्ति जमाव के साथ फिल्म की एकरूपता कम आवृत्ति की तुलना में काफी बेहतर है, क्योंकि जब आरएफ बिजली आपूर्ति की आवृत्ति कम होती है, तो प्लेट के किनारे के पास विद्युत क्षेत्र कमजोर होता है, और जमाव की गति कम होगी प्लेट के केंद्र क्षेत्र की तुलना में, और आवृत्ति अधिक होने पर किनारे और केंद्र क्षेत्र के बीच का अंतर छोटा होगा।

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