हॉल आयन स्रोत का सिद्धांत और अनुप्रयोग

सिद्धांत और होल आयन स्रोत का अनुप्रयोग

आयन स्रोत कार्य सिद्धांत

आयन स्रोत का प्रकार

आयनिक ऊर्जा के अनुसार में विभाजित है:

उच्च ऊर्जा 200ev या इसके बाद के संस्करण, जैसे कि एपीएस, आरएफ, कॉफमैन आयन स्रोत;

कम ऊर्जा 200ev नीचे हॉल आयन स्रोत

प्रकार द्वारा विभाजित:

कॉफमैन प्रकार और हॉल प्रकार

आयन स्रोत कैसे काम करते हैं

एक वास्तविक घने वातावरण में, निर्वात कक्ष में भरी जाने वाली गैस को विद्युत और चुंबकीय क्षेत्रों के संपर्क के तहत उत्सर्जित इलेक्ट्रॉनों का उपयोग करके हटा दिया जाता है, और आयन विद्युत और चुंबकीय क्षेत्रों की कार्रवाई के तहत उत्सर्जित होते हैं।

हॉल आयन स्रोत का संरचना सिद्धांत
अवयव:
कैथोड - इलेक्ट्रॉनों का उत्सर्जन करता है
एनोड - आयन पैदा करता है
गैस पथ - आयनीकृत गैस प्रदान करता है
पावर सप्लाय

हॉल आयन स्रोत की संरचना

कॉफमैन आयन स्रोत की संरचना

आयन स्रोत की आयन ऊर्जा:

स्प्लिट कॉफमैन आयन स्रोत: एनोड और ग्रिड के बीच वोल्टेज है
हॉल आयन स्रोत: एनोड वोल्टेज का 65-70%

IKS PVD ET IET कोटिंग उपकरण, संपर्क: iks.pvd@foxmail.com