लक्ष्य फिल्म के समायोज्य रंग के साथ पीवीडी कोटिंग विधि

लक्ष्य फिल्म के समायोज्य रंग के साथ पीवीडी कोटिंग विधि

1. धातु फिल्म चढ़ाना, उत्पाद को धातु लक्ष्य सामग्री से लैस कोटिंग चैंबर में चढ़ाया जा करने के लिए पास करें, आधार को गर्म करने के लिए पंप वैक्यूम और हीटिंग डिवाइस खोलें, ताकि पृष्ठभूमि का वैक्यूम 1 10-3Pa और 80-1500 प्रक्रिया तापमान के बाद पहुंच सके, 10-1000sc सेमी की आर्गन गैस कक्ष में इंजेक्ट की जाती है, स्पटरिंग पावर शुरू हो जाती है , स्पंदन शक्ति 1-15 किलोवाट के लिए सेट है, कोटिंग समय 10-300s के लिए सेट है, 1-100nm मोटाई की धातु फिल्म परत प्राप्त की है, धातु फिल्म परत तांबा (Cu), चांदी (एजी), एल्यूमीनियम (अल), क्रोमियम (सीआर) और अन्य धातु फिल्मों, या निकल-तांबा (NiCu) है । NiCr (NiCr) एलॉय फिल्म;2 । कम अपवर्तक सूचकांक फिल्म चढ़ाना। तैयार धातु फिल्म को लक्ष्य सामग्री के कोटिंग कक्ष में स्थानांतरित कर दिया जाता है जो कम अपवर्तक सूचकांक फिल्म बना सकता है और 80-150 तक गर्म हो सकता है, प्रक्रिया का तापमान, प्रक्रिया गैस कक्ष में पारित कर दिया है, बड़बड़ा शक्ति 1-15kW करने के लिए सेट है, कोटिंग समय 1-300s के लिए सेट है, 1-100nm की मोटाई के साथ कम अपवर्तक सूचकांक फिल्म परत प्राप्त की है , लो अपवर्तक इंडेक्स फिल्म लेयर सिलिकॉन ऑक्साइड सिलिकॉन नाइट्राइड फिल्म लेयर; (3) हाई अपवर्तक इंडेक्स फिल्म को चढ़ाना है । कम अपवर्तक सूचकांक फिल्म के चढ़ाना के बाद, उत्पाद को लक्ष्य सामग्री के कोटिंग कक्ष में स्थानांतरित कर दिया जाता है जो उच्च अपवर्तक सूचकांक फिल्म बना सकता है, और 80-150 तक गर्म किया जाता है 1-100 एनएम की मोटाई के साथ उच्च अपवर्तक सूचकांक फिल्म परत प्राप्त की जाती है। हाई अपवर्तक इंडेक्स फिल्म लेयर टाइटेनियम ऑक्साइड टाइटेनियम नाइट्राइड जिरकोनियम नाइट्राइड निओबियम नाइट्राइड निओबियम नाइट्राइड निओबियम ऑक्सीडेम एल्यूमिना ऑक्साइड आयरन ऑक्साइड क्रोमियम ऑक्साइड इस उच्च और निम्न अपवर्तन फिल्म की प्रक्रिया गैस है इस उच्च और निम्न अपवर्तन फिल्म की प्रक्रिया गैस कम से कम एक है Ar N2 O2, जिसमें एआर गैस की प्रवाह दर 10-1000SCCM है, N2 गैस की प्रवाह दर 10-1000SCCM है , और O2 गैस की प्रवाह दर 10-1000SCCM.4 है । विभिन्न रंगों की फिल्म परतों को प्राप्त करने के लिए कई बार चरण 2 और चरण 3 दोहराएं। चरण 2 दोहराएं और 3 1-100 बार चरण करें

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