Ferromagnetic लक्ष्य सामग्री के PVD वैक्यूम कोटिंग
Feb 18, 2019| PVD वैक्यूम कोटिंग फेरोमैग्नेटिक टारगेट मैटेरियल की
IKS PVD, PVD वैक्यूम कोटिंग उपकरण का निर्माण, संपर्क: iks.pvd@foxmail.com
पीवीडी वैक्यूम कोटिंग में चुंबकीय लक्ष्य की कठिनाई यह है कि लक्ष्य की सतह पर चुंबकीय क्षेत्र सामान्य वैक्यूम चढ़ाना द्वारा आवश्यक चुंबकीय क्षेत्र की तीव्रता तक नहीं पहुंच सकता है। इसलिए, समाधान सामान्य स्पैटरिंग कार्य में लक्ष्य की सतह पर चुंबकीय क्षेत्र के आकार की आवश्यकता को पूरा करने के लिए, फेरोमैग्नेटिक लक्ष्य की सतह पर स्थित चुंबकीय क्षेत्र की तीव्रता में वृद्धि करना है।
पीवीडी वैक्यूम कोटिंग का एहसास करने के कई तरीके हैं:
1. लक्ष्य सामग्री का डिजाइन और सुधार (फेरोमैग्नेटिक लक्ष्य सामग्री की मोटाई को कम करना, फेरोमैग्नेटिक सामग्री के पीवीडी वैक्यूम कोटिंग की लक्ष्य सामग्री का एक सामान्य समाधान है)। ;
2. पीवीडी वैक्यूम कोटिंग कैथोड के चुंबकीय क्षेत्र के प्रभाव को बढ़ाएं;
3. लक्ष्य सामग्री की चुंबकीय पारगम्यता को कम करना;
4. एक नया मैग्नेट्रोन स्पैटरिंग कैथोड डिवाइस बनाया गया;
5. डिजाइन नए वैक्यूम विद्युत प्रणाली;
6. लक्ष्य सामग्री और मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कैथोड डिवाइस का व्यापक डिजाइन।