रेडियो फ्रीक्वेंसी संवर्धित प्लाज्मा रासायनिक वाष्प जमाव (आरएफ-पीईसीवीडी)

प्लाज्मा रासायनिक वाष्प जमाव कम दबाव वाले रासायनिक वाष्प जमाव की एक प्रक्रिया है। प्रक्रिया को प्रभावित करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज प्लाज्मा का उपयोग किया जाता है, और सब्सट्रेट पर पॉलीक्रिस्टलाइन फिल्में तैयार की जाती हैं। यह विधि 1994 में जापानी बेनका कंपनी द्वारा प्रस्तावित की गई है, और इसकी प्लाज्मा उत्पादन विधि ज्यादातर रेडियो फ्रीक्वेंसी विधि का उपयोग करती है, इसलिए इसे आरएफ-पीईसीवीडी कहा जाता है। आरएफ विद्युत क्षेत्र दो अलग-अलग युग्मन मोड को अपनाता है, अर्थात् आगमनात्मक युग्मन और कैपेसिटिव युग्मन

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