कई आयन सामांयतः कोटिंग में प्रयुक्त स्रोत

·         कई आयन सामांयतः कोटिंग में प्रयुक्त स्रोत

हालांकि कई आयन स्रोत प्रकार हैं, उद्देश्य पर लाइन सफाई से अधिक नहीं है, ऊर्जा वितरण में सुधार और प्रतिक्रियाशील गैस की ऊर्जा को बढ़ाने के लिए चढ़ाना की सतह पर मॉडुलन । आयन स्रोत बहुत फिल्म और मैट्रिक्स की बांडिंग ताकत में सुधार कर सकते हैं, और कठोरता और फिल्म के पहनने के प्रतिरोध ही भी सुधार किया जा सकता है । यदि चढ़ाना उपकरण के पहनने के लिए प्रतिरोधी परत सामांय में बड़ा है और फिल्म मोटाई एकरूपता उच्च आवश्यक नहीं है, बड़ा आयन वर्तमान और उच्च ऊर्जा के स्तर के साथ आयन स्रोतों ऐसे हॉल आयन स्रोत या anode आयन स्रोत के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है ।

anode परत आयन स्रोत हॉल आयन स्रोत सिद्धांत के समान है । एक संकीर्ण परिपत्र में (आयताकार या परिपत्र) भट्ठा एक प्रबलित चुंबकीय क्षेत्र एक anode की कार्रवाई के तहत और workpiece की दिशा में काम कर गैस के लिए लागू किया जाता है । anode परत आयन स्रोत के लिए बहुत बड़े और लंबे, विशेष रूप से ऐसे कांच के निर्माण के रूप में बड़े workpieces कोटिंग के लिए उपयुक्त बनाया जा सकता है । anode परत ईओण स्रोत ईओण वर्तमान भी बड़ा है । लेकिन आयन का प्रवाह अधिक अलग है और ऊर्जा स्तर का वितरण भी व्यापक है । आम तौर पर बड़े workpieces, कांच, पहनते हैं, सजावटी workpieces के लिए लागू । लेकिन उंनत ऑप्टिकल कोटिंग के आवेदन बहुत ज्यादा नहीं है ।

Kaufman आयन स्रोत आयन स्रोत के एक प्रारंभिक आवेदन है । यह एक ग्रिड आयन स्रोत से संबंधित है । सबसे पहले, कैथोड आयन स्रोत कक्ष में प्लाज्मा उत्पंन करता है, और फिर आयनों प्लाज्मा गुहा से दो या तीन anode ग्रिड द्वारा निकाले जाते हैं । आयन स्रोत के इस तरह मजबूत directivity और केंद्रित आयन ऊर्जा बैंडविड्थ, जो व्यापक रूप से निर्वात कोटिंग में इस्तेमाल किया जा सकता है । नकारात्मक पक्ष यह है कि कैथोड (अक्सर टंगस्टन) प्रतिक्रिया गैस में जल्दी जलता है, और है कि आयन प्रवाह की सीमा है कि उपयोगकर्ताओं को, जो बड़े आयन प्रवाह की जरूरत के लिए असहज हो सकता है ।

हॉल आयन स्रोत प्रक्रिया गैस ionisation के सहयोग के तहत एक मजबूत अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र में एक anode है । इस अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र के मजबूत असंतुलन गैस आयनों को अलग करता है और आयन बीम रूपों । क्योंकि अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र भी मजबूत है, हॉल आयन स्रोत आयन बीम को आयन धारा बेअसर करने के लिए इलेक्ट्रॉनों की भरपाई करने की जरूरत है । आम बेअसर स्रोत टंगस्टन रेशा (कैथोड) है ।

हॉल आयन स्रोत विशेषताएं:

1. सरल और टिकाऊ;

2. ईओण वर्तमान लगभग गैस के प्रवाह के लिए आनुपातिक है, और बड़े ईओण वर्तमान प्राप्त किया जा सकता है;

3. टंगस्टन रेशा आम तौर पर दुकान झीनी, और आयन बीम प्रभाव जल्दी से घिस रहा है, विशेष रूप से प्रतिक्रियाशील गैसों के लिए, जो 10 घंटे के भीतर प्रतिस्थापित किया जा करने की आवश्यकता. और टंगस्टन रेशा से कुछ प्रदूषण होगा । टंगस्टन तार के दोषों को हल करने के लिए । ऐसे एक छोटे खोखले कैथोड स्रोत के रूप में अब जीवन बेअसर रहे हैं ।

हॉल आयन स्रोत सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किया आयन स्रोत है ।

IKS PVD आयन स्रोतों के लिए लागू है ।

यदि पहनने के लिए प्रतिरोधी सजावटी फिल्म चढ़ाना, फिल्म मोटाई, और एक मजबूत शरीर आसंजन के लिए की जरूरत है, और समान आवश्यकताओं उच्च नहीं हैं । हॉल आयन स्रोत उपलब्ध है । ईओण का वर्तमान बड़ा है और ईओण का ऊर्जा स्तर अधिक है । यदि यह ऑप्टिकल फिल्म, ईओण वर्तमान ऊर्जा एकाग्रता, ईओण वर्तमान एकरूपता की मुख्य आवश्यकताओं के साथ लेपित है । इसलिए, यह Kaufman या आरएफ आयन स्रोत का उपयोग करने के लिए सबसे अच्छा है, और ईसीआर के सशर्त उपयोग (इलेक्ट्रॉन साइक्लोट्रॉन) या आईसीपी (प्रेरण युग्मन) आयन स्रोत. साथ ही, उपभोग्य सामग्रियों पर विचार करें, जैसे कि हैलोजन तारों के बारे में 10 घंटे में प्रतिक्रिया गैस में बाहर जला । आईसीपी जैसे उंनत आयन स्रोतों लगातार सैकड़ों घंटे के लिए प्रतिक्रियाशील गैसों में काम कर सकते हैं ।

लेपित लैंप एल्यूमीनियम फिल्ंस । चूंकि यह एक मेटल फिल्म है, बेशक, डीसी magnetron sputtering अच्छा है । गति तेज है । मध्यवर्ती आवृत्ति कोटिंग यौगिक फिल्म के लिए उपयुक्त है । यदि आप एक आयन स्रोत चुनते हैं, तो एक हॉल आयन स्रोत पर्याप्त है । लेकिन दीपक के आकार पर ध्यान देना । आम तौर पर हॉल आयन स्रोत परिपत्र है, आयन स्रोत द्वारा कवर क्षेत्र सीमित है. आप आयन बीम के साथ सभी workpieces को कवर करना होगा । यदि साधारण हॉल आयन स्रोत बहुत छोटा है, anode परत आयन स्रोत पर विचार किया जा सकता है । एक कारण आयन स्रोतों चमक नहीं है कि चुंबकीय क्षेत्र भी प्लाज्मा उत्तेजित कमजोर है । वहां आयन स्रोतों के कई प्रकार के होते हैं, लेकिन वे मूल रूप से प्लाज्मा पहले उत्पादन, तो प्लाज्मा से गैस आयनों निकालने और उंहें आयन मुस्कराते हुए में तेजी लाने, तो रियर दृष्टि इलेक्ट्रॉनों और आयन स्ट्रीम इंजेक्षन करने के लिए ।