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Jun 30, 2018| 1. वैक्यूम इकाइयों की संरचना और वर्गीकरण
वैक्यूम इकाई आम तौर पर निम्नलिखित घटकों से बना है: विभिन्न वैक्यूम पंप, वैक्यूम मापने वाले उपकरण, वैक्यूम वाल्व, वैक्यूम पाइप और कुछ अन्य घटक जैसे कि उड़ने वाले, वैक्यूम जोड़, गैस भंडारण टैंक, बेलो, धूल कलेक्टर और वैक्यूम रिले।
इकाई के कामकाजी दबाव के मुताबिक, कच्चे वैक्यूम इकाइयों (> 1330 पीए), कम वैक्यूम इकाइयों (1330 ~ 0.13 पीए), उच्च वैक्यूम इकाइयों (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), अति उच्च वैक्यूम इकाइयां (1.3x10-6 ) ~ 1.3 × 10-11 Pa) और बहुत उच्च वैक्यूम इकाई (<1.2 ×="" 10-11="">1.2>
2. कम वैक्यूम इकाई
कम वैक्यूम इकाई की मुख्य विशेषताएं उच्च कार्य दबाव और बड़े विस्थापन हैं, लेकिन पंपिंग की गति उच्च वैक्यूम इकाई की तुलना में कम है। इसका उपयोग ज्यादातर वैक्यूम कक्ष और कुछ वैक्यूम इकाइयों के किसी न किसी पंपिंग के लिए किया जाता है, जिनके लिए वैक्यूम डिस्चार्ज इकाइयों, वैक्यूम प्रत्यारोपण इकाइयों, वैक्यूम फिल्टर इकाइयों, वैक्यूम degassing इकाइयों, वैक्यूम सुखाने इकाइयों आदि जैसे उच्च कामकाजी दबाव की आवश्यकता होती है। कम वैक्यूम इकाई के मुख्य पंप आमतौर पर वैक्यूम पंप, तेल मुहर वैक्यूम पंप, पानी जेट पंप, जल वाष्प जेट पंप, पानी की अंगूठी पंप, तेल वाष्प जेट पंप, आणविक चलनी सोखना पंप और रूट्स पंप का पारस्परिक रूप से पारस्परिक होते हैं। कम-वैक्यूम इकाई का उपयोग करते समय, धूल कलेक्टर और सूखे फ़िल्टर जैसे घटकों को कॉन्फ़िगर करना आवश्यक है, ताकि सफाई की डिग्री की प्रक्रिया आवश्यकताओं और पंप होने के लिए नमी की डिग्री की आवश्यकता हो।
3. उच्च वैक्यूम इकाई
3.1 मुख्य पंप चुनें। मुख्य पंप प्रसार पंप, आणविक पंप, स्पटर आयन पंप, टाइटेनियम पंप, क्रायोजेनिक पंप और इतने पर हो सकता है।
3.2 बैकिंग पंप और गैस स्टोरेज पाइप चुनें (शॉकप्रूफ, कामकाजी चक्र को छोटा करें, वैक्यूम कक्ष में बड़ी मात्रा में घुमाएं, और प्रसार पंप के आउटलेट दबाव को स्थिर करें)
4. अल्ट्रा-हाई वैक्यूम यूनिट
मुख्य पंप का अंतिम वैक्यूम उच्च है, रिसाव दर कम है, और यह 200-450 डिग्री सेल्सियस पर बेकिंग के लिए प्रतिरोधी है।
4.1 डिफ्यूजन पंप इकाई: बैकफ्लो को कम करें और प्रदूषण को नियंत्रित करें।
4.2 आण्विक पंप इकाई: हाइड्रोजन के लिए संपीड़न अनुपात छोटा है, और अवशिष्ट गैस मुख्य रूप से हाइड्रोजन है।
4.3 स्पटर आयन पंप इकाई: आमतौर पर टाइटेनियम पंप के साथ संयोजन में प्रयोग किया जाता है।
4.4 क्रायोजेनिक पंप इकाई: कोई प्रदूषण नहीं।


