वैक्यूम सिस्टम का विशिष्ट प्रकार

विशिष्ट प्रक्रिया वैक्यूम प्राप्त करने और मापने में सक्षम कुछ प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए उपयोग की जाने वाली प्रणाली को वैक्यूम प्रणाली कहा जाता है। एक और पूर्ण वैक्यूम प्रणाली में वैक्यूम कक्ष, आवश्यक वैक्यूम पंप या वैक्यूम इकाई, वैक्यूम माप उपकरण, कनेक्शन कंड्यूट, वैक्यूम वाल्व, जाल और अन्य वैक्यूम घटकों और विद्युत नियंत्रण प्रणाली शामिल हैं। विशिष्ट वैक्यूम प्रणाली चित्र 1 और Fig.2 में दिखाया गया है।

1. वैक्यूम कक्ष ब्लीड वाल्व 2. Ionization वैक्यूम गेज 3. थर्माकोउपल वैक्यूम गेज 4. प्रवाह विनियमन वाल्व

5. उच्च वैक्यूम वाल्व 6. डिफ्यूजन पंप 7. गैस भंडारण टैंक

8. थर्माकोउपल गेज (उपाय प्रसार पंप प्री-स्टेज दबाव) 9. बैकिंग वाल्व 10. प्रेशर सेंसर

11. प्री-पंपिंग वाल्व 12. रूट्स वैक्यूम पंप 13. बाय-पास वाल्व 14. विद्युत चुम्बकीय ब्लीड वाल्व

15. मैकेनिकल वैक्यूम पंप

एक विशिष्ट वैक्यूम प्रणाली के चित्र 1 योजनाबद्ध आरेख

1. वैक्यूम कक्ष 2. Ionization वैक्यूम गेज 3. थर्माकोउपल वैक्यूम गेज 4. Deflation वाल्व

5. उच्च वैक्यूम वाल्व 6. शीत जाल 7. डिफ्यूजन पंप 8. बैकिंग वाल्व 9. विद्युत चुम्बकीय ब्लीड वाल्व

10. मैकेनिकल वैक्यूम पंप 11 प्री-पंपिंग वाल्व

एक विशिष्ट वैक्यूम प्रणाली के Fig.2 योजनाबद्ध आरेख