एएलडी का कार्य सिद्धांत

एएलडी सब्सट्रेट सतह को गैसीय पूर्ववर्तियों के संपर्क में लाकर काम करता है जो सतह के साथ प्रतिक्रिया करते हैं, जिसके परिणामस्वरूप सामग्री की एक परत जमा हो जाती है। फिर प्रक्रिया को दूसरे अग्रदूत के साथ दोहराया जाता है जो पहले मोनोलेयर के साथ प्रतिक्रिया करता है, जिससे दूसरे मोनोलेयर का जमाव होता है, और इसी तरह। वांछित फिल्म की मोटाई और संरचना प्राप्त करने के लिए प्रक्रिया को आवश्यकतानुसार कई बार दोहराया जा सकता है।

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