संगत वैक्यूम Gauges और नियंत्रक CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar
परिचय इन्फिकॉन स्काई सीडीजी045 डी मानोमीटर उच्च सटीक कुल दबाव माप और नियंत्रण के लिए आपकी सबसे अच्छी पसंद हैं। सीडीजी045 डी गेज तापमान बेहतर सिग्नल स्थिरता और दोहराने योग्यता के लिए 45 डिग्री सेल्सियस पर नियंत्रित होते हैं। वे 50 एमटीआर से 1000 Torr तक पूर्ण पैमाने के लिए उपलब्ध हैं ...
- उत्पाद का परिचय
परिचय
इन्फिकॉन स्काई सीडीजी045 डी मैनोमीटर उच्च सटीक कुल दबाव माप और नियंत्रण के लिए आपकी सबसे अच्छी पसंद हैं। सीडीजी045 डी गेज तापमान बेहतर सिग्नल स्थिरता और दोहराने योग्यता के लिए 45 डिग्री सेल्सियस पर नियंत्रित होते हैं। वे 50 एमटीआर से 1000 Torr तक पूर्ण पैमाने की श्रेणियों के लिए उपलब्ध हैं, सभी सामान्य निकला हुआ किनारा प्रकार और फील्डबस इंटरफेस के साथ और एक रैखिक 0 से 10 वी, गैस प्रकार स्वतंत्र, दबाव संकेत प्रदान करते हैं। इन्फिकॉन कैपेसिटेंस मानोमीटर एक अल्ट्रा शुद्ध एल्युमिना सिरेमिक डायाफ्राम का उपयोग करते हैं जो संक्षारण प्रमाण है। सिरेमिक सेंसर के फायदे बेहतर सिग्नल स्थिरता, वायुमंडल से तेज वसूली, कम गर्म समय और असाधारण जीवनकाल हैं। इंफिकॉन सीडीजी वैक्यूम अनुप्रयोगों की मांग के लिए उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी दबाव सेंसर हैं।
इन्फिकॉन स्काई सीडीजी045 डी कैपेसिटेंस डायाफ्राम गैग्स ऑरलिकॉन लेबॉल्ड सीटीआर 101 ट्रांसमीटरों के लिए सीधी प्रतिस्थापन हैं। सभी अनुप्रयोगों के लिए वैश्विक समर्थन और समाधान के साथ निर्माता से मूल प्राप्त करें।
लाभ
◆ सीटीआर 101 ट्रांसमीटरों के साथ पूरी तरह से संगत
◆ लोअर कोओ (स्वामित्व की लागत), 50% तेज गर्म, ऊर्जा कुशल कम बिजली की खपत
◆ आसान एकीकरण, पूर्ण पैमाने, flanges और इंटरफेस की विस्तृत विविधता, दो सेट अंक के साथ मानक
◆ आसान एक पुश बटन या रिमोट सिग्नल शून्य कमांड, शून्य ऑफ़सेट समायोज्य
त्वरित सेवा और रखरखाव के लिए ◆ नैदानिक बंदरगाह
◆ दो साल की वारंटी, उन्नत हीटिंग अवधारणा और गेज संरक्षण के साथ लंबे जीवनकाल
◆ कठोर प्लाज्मा अनुप्रयोगों में भी उत्कृष्ट सिग्नल स्थिरता और दोहराने योग्यता के कारण कोई दीर्घकालिक पुनर्मिलन नहीं
◆ अनुपालन और मानकों: सीई, एन, उल, सेमी, RoHS
विशिष्ट आवेदन पत्र
◆ Etch, सीवीडी, पीवीडी और अन्य अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाओं
◆ रासायनिक और संक्षारक वैक्यूम प्रक्रियाओं
◆ सामान्य पतली फिल्म और वैक्यूम प्रक्रियाएं
अंतरराष्ट्रीय मानकों के अनुसार परीक्षण उपकरणों की निगरानी के लिए ◆ संदर्भ सेंसर
◆ ट्रेसिबिलिटी माप के लिए मानक स्थानांतरण
विनिर्देश
प्रकार | 1000 Torr, 1100 एमबार | 500 ... 1 टोर / एमबार | 0.5 ... 0.05 Torr / mbar | |
शुद्धता | % पढ़ने का | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
तापमान प्रभाव | ||||
शून्य पर | प्रतिशत एफएस / डिग्री सेल्सियस | 0.0025 | 0.0025 | 0.0025 |
अवधि पर | पढ़ने / डिग्री सेल्सियस% | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
संकल्प | प्रतिशत एफएस | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
दबाव, अधिकतम। | केपीए (पूर्ण) | 400 | 260 | 130 |
सबसे कम पढ़ना | प्रतिशत एफएस | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
सबसे कम सुझाव दिया पढ़ना | प्रतिशत एफएस | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
सबसे कम सुझाव दिया नियंत्रण दबाव | प्रतिशत एफएस | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
तापमान | ||||
ऑपरेशन (परिवेश) | सी | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
निकला हुआ किनारा पर बेकआउट | सी | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
भंडारण | सी | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
वोल्टेज आपूर्ति | +14 ... +30 वीडीसी या ± 15 वी (± 5%) | +14 ... +30 वीडीसी या ± 15 वी (± 5%) | +14 ... +30 वीडीसी या ± 15 वी (± 5%) | |
बिजली की खपत | ||||
गर्मी के दौरान | डब्ल्यू | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
ऑपरेटिंग तापमान पर | डब्ल्यू | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
आउटपुट सिग्नल (एनालॉग) | वी (डीसी) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
जवाब देने का समय | सुश्री | 30 | 30 | 130/30 |
सुरक्षा की डिग्री | आईपी 40 | आईपी 40 | आईपी 40 | |
मानक | ||||
सीई अनुरूपता | एन 61000-6-2 / -6-3, एन 61010 और आरओएचएस | एन 61000-6-2 / -6-3, एन 61010 और आरओएचएस | एन 61000-6-2 / -6-3, एन 61010 और आरओएचएस | |
ईटीएल प्रमाणीकरण | उल 61010-1, सीएसए 22.2 संख्या 6010-1-1 | उल 61010-1, सीएसए 22.2 संख्या 6010-1-1 | उल 61010-1, सीएसए 22.2 संख्या 6010-1-1 | |
सेमी अनुपालन | सेमी एस 2 | सेमी एस 2 | सेमी एस 2 | |
विद्युत कनेक्शन | डी-सब, 15 ध्रुव, पुरुष | डी-सब, 15 ध्रुव, पुरुष | डी-सब, 15 ध्रुव, पुरुष | |
निर्दिष्ट बिंदू | ||||
सेटपॉइंट्स की संख्या | 2 (एसपी 1, एसपी 2) | 2 (एसपी 1, एसपी 2) | 2 (एसपी 1, एसपी 2) | |
रिले संपर्क | वी (डीसी) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
हिस्टैरिसीस | प्रतिशत एफएस | 1 | 1 | 1 |
नैदानिक बंदरगाह | ||||
मसविदा बनाना | RS232-सी | RS232-सी | RS232-सी | |
पढ़ना | दबाव, स्थिति, आईडी | दबाव, स्थिति, आईडी | दबाव, स्थिति, आईडी | |
सेट | सेट अंक, फ़िल्टर, शून्य समायोजित करें, कारखाना रीसेट, डीसी ऑफसेट | सेट अंक, फ़िल्टर, शून्य समायोजित करें, कारखाना रीसेट, डीसी ऑफसेट | सेट अंक, फ़िल्टर, शून्य समायोजित करें, कारखाना रीसेट, डीसी ऑफसेट | |
सामग्री के संपर्क में शून्य स्थान | एल्यूमीनियम ऑक्साइड सिरेमिक (एआई 2 ओ 3), स्टेनलेस स्टील (एआईएसआई 316 एल) | एल्यूमीनियम ऑक्साइड सिरेमिक (एआई 2 ओ 3 ), स्टेनलेस स्टील (एआईएसआई 316 एल ) | एल्यूमीनियम ऑक्साइड सिरेमिक (एआई 2 ओ 3 ), स्टेनलेस स्टील (एआईएसआई 316 एल ) | |
आंतरिक मात्रा | ||||
1/2 '' ट्यूब | सेमी³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
डीएन 16 आईएसओ केएफ | सेमी³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
डीएन 16 सीएफ-आर | सेमी³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
8 वीसीआर® | सेमी³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
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