सामान्य प्रयोजन मास फ्लो कंट्रोलर - एमकेएस 1179 सी

परिचय

1179 सी एक सामान्य उद्देश्य द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक है जो विभिन्न प्रकार के अनुप्रयोगों में गैसों के प्रवाह को मापने और नियंत्रित करने के लिए डिज़ाइन किया गया है । 1179 द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक पूर्ण स्केल श्रेणियों के साथ 10 एससीएम से 20 एसएलएम के साथ उपलब्ध हैं, जो तेजी से, दोहराने योग्य प्रवाह नियंत्रण 0.2 एससीएम के रूप में कम प्रदान करते हैं। उपयुक्त दबाव ट्रांसड्यूसर से कनेक्ट होने पर इसे दबाव नियंत्रक के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है।

1179 सी आज बाजार पर सबसे आम एमएफसी के लिए एक प्रत्यक्ष रूप-फिट-फ़ंक्शन प्रतिस्थापन है। मानक 3-इंच पदचिह्न मौजूदा गैस लाइनों को संशोधित किए बिना 1179 सी को सीधे उसी स्थान पर छोड़ने में सक्षम बनाता है। इलेक्ट्रिकल कनेक्टर एक ही प्रकार के "डी" कनेक्टर होते हैं, उसी पिन-आउट, सिग्नल और उनके उद्योग समकक्षों के रूप में कार्य करते हैं, इसलिए कोई केबल या कनेक्टर रीवायरिंग आवश्यक नहीं है। 1179 सी एमएफसी बिजली की आपूर्ति के साथ संगत है और एमकेएस या अन्य निर्माताओं से इलेक्ट्रॉनिक्स प्रदर्शित करता है।

विशेषताएं और लाभ

◆ पेटेंट 1 सेंसर डिजाइन असाधारण शून्य स्थिरता प्रदान करता है

◆ पूर्ण स्केल प्रवाह सटीक और दोहराने योग्य प्रवाह माप और नियंत्रण के लिए 10 एससीएम से 20 एसएलएम तक है

◆ एनालॉग कॉन्फ़िगरेशन के लिए पूर्ण स्केल सटीकता का प्रतिशत

◆ फास्ट गर्म समय महंगा उत्पादन डाउनटाइम को कम करता है

◆ पहले एमकेएस एमएफसी और बिजली की आपूर्ति / रीडआउट मॉड्यूल के साथ संगत

◆ कठोर डिजाइन और परीक्षण में दीर्घकालिक प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए एमटीबीएफ विश्लेषण और STRIFE परीक्षण शामिल है

◆ गीले स्टेनलेस सतहों, क्लीनरूम प्रसंस्करण, और elastomer मुहरों के न्यूनतम उपयोग की सतह खत्म स्वच्छ प्रक्रियाओं की मांग में उपयोग सक्षम

◆ दो साल की वारंटी गुणवत्ता और ग्राहक संतुष्टि सुनिश्चित करता है

संरचना

1179 सी मास-फ़्लो कंट्रोलर का एक क्रॉस सेक्शन आरेख

प्रवाह सटीकता और पुनरावर्तनीयता

उपर्युक्त ग्राफ 1179 सी परिवार में सामान्य प्रवाह सटीकता और दोहराना एमएफसी की पुनरावर्तनीयता दिखाता है। 10 दिनों की अवधि में एमकेएस इंस्ट्रूमेंट्स कैलिफोलो ® प्राथमिक मानक फ्लो कैलिब्रेटर का उपयोग करके मापन किए गए थे।

शून्य स्थिरता

उपर्युक्त ग्राफ 1179 परिवार में उपयोग किए गए 1179 सी सेंसर की उत्कृष्ट शून्य और अवधि स्थिरता दिखाता है। उपकरणों को संचालित किया गया था और 1 9 महीने की अवधि में शून्य और अवधि के बहाव के लिए यादृच्छिक रूप से परीक्षण किया गया था।

विनिर्देश

आयामी चित्र

नोट: अन्यथा निर्दिष्ट किए जाने तक, आयाम इंच (एमएम संदर्भित) में नाममात्र मान हैं।

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