संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम

संयुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम
विशेष आवश्यकताओं वाले कुछ वैक्यूम सिस्टम के लिए, जैसे कि जिन्हें अल्ट्रा-हाई वैक्यूम या ऑयल-फ्री अल्ट्रा-हाई वैक्यूम दोनों की आवश्यकता होती है और साथ ही रफ पंपिंग की जरूरतों को पूरा करते हैं और प्रक्रिया के दौरान निकलने वाली बड़ी मात्रा में गैस का सामना करते हैं, आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए संयुक्त प्रणाली का उपयोग किया जा सकता है। चित्र 5-16 तेल मुक्त अल्ट्रा-हाई वैक्यूम कोटर का वैक्यूम सिस्टम योजनाबद्ध आरेख दिखाता है। मुख्य पंप स्पटरिंग आयन पंप है, जो वैक्यूम डिग्री में सुधार करने और सामग्री को वाष्पित करते समय उत्पन्न होने वाली बड़ी मात्रा में गैस को हटाने के लिए टाइटेनियम सब्लिमेशन पंप से लैस है। अंतिम निर्वात डिग्री 6.67×10-7Pa तक पहुँच सकती है। आणविक चलनी पंप का उपयोग मुख्य पंप के प्री-पंपिंग पंप के रूप में किया जाता है। इसके अलावा, सिस्टम एक सोखने वाले जाल से भी सुसज्जित है - मैकेनिकल पंप रफ पंपिंग सिस्टम, जब दबाव 1333Pa से अधिक होता है, तो मैकेनिकल पंप के लिए तेल वापस करना आसान नहीं होता है, मैकेनिकल पंप के साथ सीधे वैक्यूम चैम्बर में वैक्यूम करता है, जब वैक्यूम चैम्बर का दबाव 1333Pa से कम है, यांत्रिक पंप बायपास वैक्यूम चैम्बर से सोखना जाल 9 के माध्यम से।

▲ चित्र 5-16 ऑयल-फ्री अल्ट्रा-हाई वैक्यूम कोटर वैक्यूम सिस्टम योजनाबद्ध आरेख: 1- वैक्यूम चैम्बर 2- अल्ट्रा-हाई वैक्यूम गेट वाल्व 3- स्पटरिंग आयन पंप {{7} } टाइटेनियम सब्लिमेशन पंप 5- अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वाल्व 6- ब्लीड वाल्व 7- हाई वैक्यूम वाल्व 8- आणविक छलनी पंप 9- सोखना जाल 10- मैकेनिकल पंप

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