अल्ट्रा-हाई वैक्यूम पंप सेट

अल्ट्रा-हाई वैक्यूम पंप सेट
अल्ट्रा-हाई वैक्यूम यूनिट अल्ट्रा-हाई वैक्यूम प्रेशर रेंज 10-6 ~ 10-10Pa में काम करती है, इसके अलावा इस आवश्यकता के अलावा कि वैक्यूम चैम्बर की सामग्री में गैस आउटपुट दर बहुत कम होती है, a बहुत छोटी गैस रिसाव दर, और 200 ~ 450 डिग्री उच्च तापमान बेकिंग का सामना कर सकती है, यूनिट की आवश्यकताओं में यह भी शामिल है:
(1) मुख्य पंप की अंतिम वैक्यूम डिग्री उच्च होनी चाहिए, कम से कम 10-7 ~ 10-8Pa ऊपर;
(2) मुख्य पंप में अल्ट्रा-हाई वैक्यूम के कामकाजी दबाव सीमा के भीतर एक निश्चित पंपिंग गति होती है;
(3) यूनिट का मुख्य पंप या मुख्य पंप वायु सेवन के ऊपर का हिस्सा 200 ~ 450 डिग्री के उच्च तापमान बेकिंग का सामना कर सकता है;
(4) स्वायत्त पंप पर बैकफ़्लो गैस (कार्यशील तरल वाष्प और विघटित गैस सहित) का आंशिक दबाव काफी कम होना चाहिए;
(5) पंप की गई गैस की मजबूत चयनात्मकता वाला मुख्य पंप पर्याप्त रूप से बड़े सहायक पंप से सुसज्जित होना चाहिए;
(6) यूनिट के मुख्य पंप के इनटेक पोर्ट के ऊपर पाइपिंग, वाल्व और अन्य घटकों, सामग्री के चयन और सीलिंग में विशेष रूप से सावधानी बरतनी चाहिए। आम तौर पर, कम गैस आउटपुट दर और धातु सीलिंग संरचना और सीलिंग सामग्री वाले स्टेनलेस स्टील का उपयोग किया जाता है।

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