पीईसीवीडी कैसे काम करता है

पीईसीवीडी कैसे काम करता है

PECVD विधि का उपयोग गैर-संतुलन प्लाज्मा की विशेषताओं का उपयोग करके सिलिकॉन नाइट्राइड पतली फिल्मों को विकसित करने के लिए किया जाता है, अर्थात, प्लाज्मा अणु, परमाणु, आयन या सक्रिय समूह आसपास के वातावरण के समान होते हैं, और गैर-संतुलन इलेक्ट्रॉन अपने छोटे द्रव्यमान के कारण होते हैं, उनका औसत तापमान अन्य कणों की तुलना में परिमाण के दो क्रम तक बड़ा हो सकता है, इसलिए सामान्य परिस्थितियों में, कई प्रतिक्रियाओं को प्राप्त करने के लिए उच्च तापमान (300 डिग्री सेल्सियस -450 डिग्री सेल्सियस) की आवश्यकता होती है। जमाव प्रक्रिया के दौरान, विशेष गैस NH3 और SiH4 अणुओं में उच्च आवृत्ति की क्रिया के तहत तीव्र तापीय गति होती है और वे अपने अणुओं को आयनित करने के लिए एक दूसरे से टकराते हैं और फिर SiNx उत्पन्न करते हैं।

आईकेएस पीवीडी कंपनी, सजावटी कोटिंग मशीन, टूल्स कोटिंग मशीन, डीएलसी कोटिंग मशीन, ऑप्टिकल कोटिंग मशीन, पीवीडी वैक्यूम कोटिंग लाइन, टर्नकी प्रोजेक्ट उपलब्ध है। अभी हमसे संपर्क करें, ई-मेल: iks.pvd@foxmail.com